中古 BROOKS AquaTran #158153 を販売中

BROOKS AquaTranは最先端のウェーハハンドラーです。それは200mm x 200mmまでのあらゆるサイズのウェーハを扱うように設計されています。AquaTranは低力、低角度転写メカニズムとコンパクトで人間工学に基づいた設計を特徴としています。この装置は、ウェーハをほこり、水、その他の汚染物質から保護するように設計された完全に密閉された動作環境を備えています。エンクロージャはまた、熱管理を提供し、ノイズレベルを最小限に抑えるのに役立ちます。環境は密閉され、加圧されているため、システムは1 Torr以下の真空およびその他の非真空動作環境で動作することができます。BROOKS AquaTranは、ウェーハの処理時間を最小限に抑え、環境汚染からウェーハを保護する真空ロードロックユニットを搭載しています。また、ウェーハから放出される静電気の漏れを検出できる静電充電モニターを搭載しています。このマシンは、迅速で高効率なウェーハ処理を提供するように設計されています。高精度のポジショニングツールと3軸サーボドライブのアセット、およびウェーハの正確な配置と配置を保証する自動ポジショニングモデルを備えています。また、洗練されたガスフロー装置を搭載し、クリーンで低圧のプロセスとウェーハのローディングを実現しています。AquaTranは、温度制御プロセスとリソグラフィーシステムの両方に最適化されています。さらに、リソグラフィーシステム全体を直接制御するようにプログラムすることができ、手作業での処理時間を大幅に短縮できます。このユニットは、最先端のウェーハ処理および転送技術と互換性があり、ほぼすべての生産ユニットと統合することができます。さらに、ホストコンピュータなどの他のシステムと通信することもできます。これにより、BROOKS AquaTranと他のシステムとのシームレスな統合が可能になります。最後に、機械は4000時間以上の故障率の前の平均時間と、非常に信頼性が高いです。これにより、最大のスループット、歩留まり、品質管理が保証されます。