中古 BROOKS 5850-OTR #197957 を販売中

BROOKS 5850-OTR
ID: 197957
Mass flow controller Flow: 50 SCCM Gas / Liquid / Vapor: O2.
BROOKS 5850-OTRは、半導体ウェーハの熱抵抗テスト用に設計された高度なウェーハハンドラです。この堅牢で信頼性の高い装置は、Si、 GaAs、その他の複合材料を含むさまざまな材料を試験することができます。様々な条件下で効率的かつ正確にウェーハ温度抵抗を試験する方法を提供するように設計されています。5850-OTRウェーハハンドラは、試験中にウェーハ表面に印加される圧力量を制御するための圧力プロファイラシステムを利用しています。このシステムは、均一な温度プロファイルを達成するために、ウェーハ表面に特定の量の力を適用するようにプログラムすることができます。また、圧力プロファイラを使用すると、ウェーハの各点の温度を時間経過とともに監視することができます。BROOKS 5850-OTRウェーハハンドラは、光学顕微鏡と組み合わせて使用することができ、サンプル材料の検査とテストを強化することができます。この顕微鏡は、ウェーハの高解像度写真を撮影し、ウェーハ表面の温度分布や様々な特徴を観察するために使用することができます。検査およびテスト機能の強化に加えて、ウェハハンドラ5850-OTR安全性と信頼性の機能を多数搭載しています。この装置は、テスト中のエラーや事故の可能性を減らすために、一連の保護装置で設計されています。ウェハハンドラには自動シャットオフ機能が組み込まれており、テスト環境が規定温度範囲を下回っている場合にトリガーされ、ユーザーに保護層が追加されます。BROOKS 5850-OTRウェーハハンドラは、ウェーハの温度耐性をテストするための強力で信頼性が高く効率的なツールです。その最先端の圧力プロファイリングシステムと安全対策は、さまざまな材料をテストする効果的で安全な方法をユーザーに提供し、さまざまな試験アプリケーションに最適です。
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