中古 BROOKS 002-0016-34 #293642901 を販売中

BROOKS 002-0016-34ウェーハハンドラは、自動半導体装置で使用するために設計された多軸精密ウェーハハンドラです。このハンドラは、さまざまな一般的なウェーハ寸法と互換性があり、特に過酷な汚染のない環境での使用を目的としています。このハンドラは、高度な真空ウェーハ転送技術を利用しており、制御された正確な方法でウェーハを移動することができます。ウエハハンドラは、頑丈なアルミ合金フレームから構成され、ウエハ操作用の3段階伸縮式アームを備えています。ロボットアームは2つのステッピングモーターで駆動され、ウェーハを持ち上げて最大1106mm （44in）の搬送が可能です。アームは、スムーズな動きのためにギアとベルトを使用し、迅速かつ簡単にウェーハのローディングとアンロードのための組み込みジェイコブスチャックを持っています。また、0。1mm （0。0025in）の解像度を持つタッチレスウェーハセンタリング装置も備えています。002-0016-34ウェーハハンドラは、ウェーハの搬送を正確に制御できる多軸制御ユニットも備えています。このユニットには、ユニットのベースにある専用のモーションコントロールボードが装備されており、さまざまなウエハータイプのさまざまなモーションプロファイルがあらかじめプログラムされています。ユーザーは、必要に応じて特定のウェーハ寸法にモーションプロファイルをカスタマイズすることができます。また、ウエハハンドラには光学センサが組み込まれており、ウエハーがハンドリングプロセス全体を中心に適切に保持されるようにします。BROOKS 002-0016-34ウェーハハンドラは、多軸制御ユニットに加えて、埋め込み真空ソースを使用してウェーハを輸送する高度な真空ウェーハトランスポートシステムを備えています。このユニットは、安全で信頼性の高い真空環境を提供し、異なるロボット機器間のウェーハの安全かつ正確な転送を確保するために必要です。真空ウエハートランスポートマシンは、ウエハー上の粒子やほこりの蓄積を防ぐ破片除去ツールも備えています。002-0016-34ウェーハハンドラは、厳しい製造環境における最も厳しい要件を満たすように設計されています。65°C （150°F）までの温度と25％までの相対湿度で動作することができます。このウェーハハンドラは、汚染のない環境でさまざまなロボット機器間でウェーハを輸送するための信頼性の高い効率的な方法を提供するように設計されています。