中古 BLUECODE BWS800B #148299 を販売中

BLUECODE BWS800B Wafer Handlerは、プロセスチャンバとサポート機器間のウェーハのローディング、アンロード、転送を目的とした、機能豊富な高性能ウェーハ処理装置です。このウェハハンドラは、半導体デバイス製造やその他の先進的なマイクロエレクトロニクス製造プロセスにおけるウェハトランスファーに最適なソリューションです。BWS800Bは、最大スループット、優れたウェーハ配置精度、高い再現性を提供するように設計されています。自動化された操作により、生産プロセスに迅速かつ簡単に統合できます。このアーキテクチャには、独自のコントローラを備えた独立したロードポートと、オプションのロードポートリフトが組み込まれているため、生産効率が向上し、転送時間が短縮されます。この輸送システムは、両面プロセスと片面プロセスの双方向アクセスを可能にし、ロボットアームとウェーハトランスポートユニットの動きを制御するための組み込みソフトウェアを備えています。ロボットアームは耐食性、頑丈な材料で作られており、サポートの上とオフに正確にウェーハを配置することができます。ロボットアームには、位置補正用のEPCセンサー、安全な取り扱いのための「アームロック」メカニズム、機械内のすべてのウエハの位置を監視する追跡センサーが装備されています。ウェハトランスポートツールは、エアタービンポンプを備えており、クリーンで乾燥した一貫性のあるエアフローをウェーハ上に確保します。高度なElectro-Static Discharge （ESD）モデルは、機器を安全に保ち、ウェハハンドラをシールドして電気部品とデータの安全性を確保します。システムには合計4つの独立した負荷ポートがあり、2つのアームグリッパーが装備されており、それぞれに8つのポケットがあり、最大200mmのサイズのウェーハを搭載しています。BLUECODE BWS800Bは、-10°Cから+45°Cまで温度制御された環境で動作し、特定の定義された条件を満たしたときに安全にシャットダウンし、ウェーハ処理操作の安全性と信頼性を確保することができます。このユニットは、あらゆる生産ラインへの既製品の統合にも安全性が認定されており、ダウンタイムと最大のパフォーマンスを最小限に抑えるための冗長コンポーネントが含まれています。BWS800B Wafer Handlerの設計はユーザーフレンドリーで、キーパーツのLEDインジケータ、突然の停電のための手動リセット、機械の健康状態を調べるためのセルフテストなどの自己診断機能が含まれています。また、ツールの正しい設定を確実にするためのカスタマイズ可能な設定とデータ管理オプションを備えた直感的なソフトウェアや、インターネット接続を介した資産のリモートコントロールも含まれています。この包括的なウェハハンドラは、あらゆる製造プロセスやマイクロエレクトロニクス製造プロセスにとって非常に貴重な資産です。