中古 BLUE M S05IEU55 #9236617 を販売中

BLUE M S05IEU55ウェーハハンドラは、さまざまなプロセスでウェーハを転送および処理するために設計されたロボットウェーハハンドリング装置です。このシステムは、ワークステーション、プロセス開発センター、さらには複数のツール間でウェーハを転送することができ、自動ウェーハ処理における最大限の柔軟性と効率性を可能にします。ユニットは、ベースユニット、2つの上部リフトアーム、および5つの下部ガイドプローブで構成されています。ベースユニットは1750mm×1150mmで、作業面積が高くなっています。リフトアームは油圧作動し、ベースユニットの上に最大500mm持ち上げることができます。下側のガイドプローブも油圧作動し、ベースユニットよりも最大45°上昇することができます。最大4台のロボットを制御できる6軸ロボットアームを搭載しています。各ロボットには独自のパラメータがあり、別々にまたはグループとして移動することができます。ロボットアームは、水平方向に最大900mm、垂直方向に最大600mmの移動が可能です。ロボットの最大速度は2。5m/sec、到達範囲は1。5mです。また、ウェーハハンドラは、最大2つの異なるフレームと8つの異なるウェーハサイズをサポートできる自動ウェーハ交換ステーションを備えています。交換ステーションには、統合ビジョンツールと高品質の画像処理ソフトウェアが装備されています。このソフトウェアは、許容差とマシンビジョン設定を使用して、さまざまなサイズのウェーハの正確な位置決めを可能にします。このアセットには、転送用のウェーハを確実に保持できるウェーハリフトもあります。ウェーハリフトは最大3500gの容量を持ち、ウェーハを損傷することなく最大270°の自動回転が可能です。このモデルは、真空バルブ、フォースセンサー、クラスタツール、検査システムなどの他の機器とも互換性があります。S05IEU55ウェハハンドラはモジュラー設計で構築されており、ESDおよびクリーンルーム環境での使用に適しています。この機器は、低い運用コストとメンテナンスコストで信頼性が高いように設計されており、幅広いアクセサリーとサービスによってサポートされています。BLUE M S05IEU55ウェハハンドラは、優れた性能により、ウェハハンドリング作業を効率的に自動化するための理想的な選択肢です。