中古 BAUMANN WHO RvO #9091901 を販売中

BAUMANN WHO RvOは、自動化されたウェーハ処理システムにシームレスに統合するために設計された先進的なウェーハハンドラです。直径300mmのウエハを12インチのウエハ径で取り扱うように設計されています。このユニットは、高度で精密なウェーハ処理装置であり、総高さ101mmの調整可能なチルトベースユニットを備えています。ウェーハハンドリングシステムには、二軸角度制御を備えたロボットアームが搭載されており、1サイクルにつき最大20の動作を持つ完全な軌道制御が可能です。また、取り扱い工程中にウェーハを適切に配置するためのウェーハクラッチマウントも備えています。最大30個のウェーハを検出・認識し、ロボットアームの傾きや角度を自動調整して正確なウェーハ処理を行う独自のビジョンマシンを搭載しています。WHO RvOツールには、ウェーハサイズ、リジェクトユニット、およびローダーが装備されています。ローダーは、3D円筒形のプラットフォームで作られており、ウェーハをクランプで所定の位置に押し込み、ウェーハ処理中に所定の位置に保持します。このアセットには、バッチ継続性を確保するために慎重にウェーハを組織するウェーハアライナーも備えています。ウェーハのサイズは、ウェーハを目的の質感と形状に正確にスライスすることができます。リジェクトユニットは、それ以上の汚染を引き起こすことなく、任意の修飾されていないウェーハを廃棄するので、汚染の危険を避けるために調整されています。BAUMANN WHO RvOは使いやすさとメンテナンスのために設計されています。このモデルは、ウエハハンドリングプロセス中に発生する可能性のある誤動作を認識して適応することで、ダウンタイムと機械の他の部分への損傷のリスクを低減することができます。また、REMOTE-Exchange System （RES： REMOTE-Exchange System）を搭載しており、技術的な問題が発生した場合に効率的な遠隔診断とユニットの保守が可能です。結論として、WHO RvOは、自動化されたウェーハ処理システムにおける直径300mmのウェーハの正確で信頼性の高い一貫した処理のために設計された高度なウェーハハンドリングマシンです。ユニークなビジョンツール、調整可能なチルトベース、二軸角度制御付きロボットアーム、およびウェーハサイズ、リジェクトユニット、およびローダーは、効率的で正確なウェーハ処理に最適です。