中古 ATM Top-Mount #189538 を販売中

ATM Top-Mountは、ウェーハ処理を安全かつ効率的に行うことを可能にするウェーハハンドラです。このタイプのウェーハハンドラは、ウェーハが側面からロードされるサイドローディングではなく、ユニットの上部からロードされるトップローディング動作機構です。最大240°のサイクロイド動作を備えた真空アームを備えており、ウェーハを簡単に移動および操作できます。処理要件に合わせて調整できるウエハプレゼンテーション角度を備えています。Top-Mountは半導体製造アプリケーション向けに設計されており、シリコン、ガラス、石英、セラミック、サファイアウエハなど、さまざまなウエハータイプで作業できます。ウェハハンドラは、信頼性と安定した動作を確保するために耐久性と耐性のあるアルミ合金フレーム構造を有し、最大作業負荷14 kg （30。9ポンド）を提供しています。最大125mm/secの速度を持ち、ウェーハ処理において高い精度と精度を提供します。ウェーハハンドラには、ウェーハの位置を検出できる光学モーションセンシングユニットが搭載されており、ウェーハを衝突や損傷のリスクなしに加工ステーションに正確に移動させることができます。このユニットは、0。05mm （0。002インチ）の最小ギャップで任意の角度でウェーハの位置を検出できます。ATMトップマウントのロボットアームは0。02mm （0。001インチ）の精度で機能します。また、熱安定化、粒子濾過、消毒機能も備えています。オンボードコントロールパネルは容易なプログラム可能性を可能にし、タッチスクリーンインターフェイスを備えています。全体として、トップマウントウェハハンドラは、半導体加工アプリケーション向けの信頼性が高く効率的なウェハハンドリングソリューションです。使いやすく、ウェーハの動きに精度と精度を提供するとともに、熱および衛生的なプロセス条件を維持します。ロボットアームは、最高240°のサイクロイド運動を高精度で実現し、ユニットのオンボードコントロールパネルは容易なプログラマビリティを実現します。