中古 ASYST WMS 2200 #9269343 を販売中

ASYST WMS 2200は、ASYST Technologies Inc。が開発したウェーハハンドラです。研究および製造のための効率的で信頼性の高いウェーハトランスファーを提供するために設計されています。この装置には、2つのポッド位置、4つのウェーハキャリア、およびウェーハの自動積み下ろし用のトランスファーチャンバーが装備されています。最大ポッド容量は20 25mmのウェーハで、ウェーハサイズに応じて最大8個のウェーハを収容できます。また、リアルタイムでウェーハの向きを検出して識別できるビジョンユニットを搭載し、ウェーハをキャリアからポッドへ正確に転送します。WMS 2200は真空機とウエハハンドリングパネルで構成されており、ウェハトランスファーの正確かつ制御された圧力でウェハを損傷するリスクを低減します。これは、アセットが空気圧レベルを検出して監視することを可能にする信号源を備えた2段階の真空ツールを内蔵しています。ウェーハハンドリングパネルは、正確な転送のためにウェーハの向きを検出するウェーハ、センサー、およびモーションディテクタを輸送するために使用できる真空ピックアップと、転送の制御圧力を確保するための調整可能なホルダーで構成されています。また、ウエハ搬送プロセスをユーザーが制御できる制御装置を内蔵しています。制御システムは、複数のウェーハ転送シーケンスをプリセットし、ウェーハ転送プロセスを自動化するために使用できます。さらに、ウェーハ転送プロセスの状態を監視および管理するためのユーザーフレンドリーなインターフェースを備えています。ASYST WMS 2200は、幅広いアプリケーションで信頼性の高いウェーハ転送性能を提供するように設計されています。その堅牢な設計と高精度の機能性は優れた性能を提供し、研究および生産ニーズに最適です。ユーザーフレンドリーな制御機と幅広い機能により、WMS 2200はさまざまな種類のウェーハ転送に適しており、ウェーハの転送に安定した信頼性の高いソリューションを提供します。