中古 ASYST WMS 2200 #293794337 を販売中

ASYST WMS 2200
製造業者
ASYST
モデル
WMS 2200
ID: 293794337
Wafer system.
ASYST WMS 2200は、自動化システムの合理化と半導体製造の生産性の向上を目的としたウェハハンドラです。堅牢で信頼性が高く、耐久性に優れたツールであり、ウェーハの効率的な取り扱いを提供し、マテリアルハンドリングに関して幅広い柔軟性とオプションを提供します。WMS 2200は、スキャナとハンドラの2つのメインモジュールで構成されています。スキャナモジュールは、1バッチにつき最大8個のウェーハをスキャンでき、エマルジョン識別のための光学アライメントが可能です。このハンドラーは、正確な位置決めと取り扱いのためのツールとグリッパー位置決めシステム(GPS)を備えています。GPSシステムは、4-inch、 6-inch、 8-inch、 12-inchウェーハなど、さまざまな種類のウェーハに対応するように構成することができます。また、アセンブリ、ボンディング、リソグラフィ、拡散、およびその他のアプリケーションの広い範囲をサポートしています。ASYST WMS 2200の機能は、半導体部品の製造プロセスを簡素化および合理化するように設計されています。このユニットは、ユーザーフレンドリーな制御と構成で、高性能で低コストの動作を提供します。モジュラー設計により、高い柔軟性と操作精度が保証され、高度な制御システムにより、正確なチップの取り扱いと組み立てが保証されます。また、WMS 2200は安全で安全な動作環境を提供するように設計されています。センサーや検出器などの安全機構を搭載し、オペレータや部品の安全を確保しています。さらに、このツールは、チップの劣化と汚染を検出および防止するための組み込みスキャンモジュールを備えています。1、2、4、8インチウエハに対応できる高効率ウエハコレクションカセットを搭載。これらのカセットは使いやすいローディングメカニズムを備えており、1バッチあたり最大48ウェーハに対応できます。調節可能なガスの堅いカバーおよび工具細工システムは精密なウェーハの処理および多様な破片材料を扱う柔軟性を保障します。ASYST WMS 2200は、半導体部品の効率的かつ正確な取り扱いを提供する汎用性と信頼性の高いツールです。その特徴は、操作の精度と半導体生産システムの生産性の向上を保証し、堅牢な設計とユーザーフレンドリーな制御により、安全で安全な動作環境を提供します。
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