中古 ASYST WMS 2200 #293636083 を販売中

ASYST WMS 2200は、高度なウェーハトランスポートシステムに組み込まれたウェーハハンドラで、自動ウェーハ/レチクル/ダイソート、ロードおよびアンロード機能を提供します。WMS 2200は、統合された材料追跡、アラーム管理、業界をリードするソフトウェアで優れたパフォーマンスを提供します。ウェーハハンドラは、1300mm x 1430mm、幅865mm、高さ1658mm、最大重量1300kgのフットプリントで、拡張可能で完全に構成可能です。ASYST WMS 2200は、最大8つの200mmウェーハ、複数のレチクル、ダイ、パネルなど、さまざまな基板に対応できます。それは2つの自動ローディングおよび荷を下すシステムを特色にします、それぞれ2つの独立したローディングステーションが装備されています。WMS 2200には、2つの標準FOUP （Front Opening Unified Pod）ポート、2つの垂直FOUPポート、2つの低高さFOUPポート、2つの垂直カセット・ポートがあります。これらのポートはすべて、さまざまな高さのポッドタイプ、および異なるジオメトリのドアタイプを含む、FOUPサイズのフルレンジをサポートしています。高度なウェーハ搬送システムを搭載したASYST WMS 2200には、一連の内蔵センサーと最先端のモーションコントロールも搭載されています。これらの制御により、最大32,000mm/minまでの最高動作速度でも、最小モーションジッタで正確かつ信頼性の高い動作が保証されます。センサーは基板の変形とアライメントを検出し、適切なハンドリング動作を保証し、金型識別情報を検証します。WMS 2200には、ボットドアインターロック制御システム、FOUPドアセーフとクランプ、ミスアライメントのトリップゾーンとソフトストップ検出、高速停止検出、可動部品のインターロックとカバーなど、幅広い安全機能も含まれています。さらに、ハンドラーには、マルチレベルカセットアクセスシステム、タッチスクリーンのグラフィカルユーザーインターフェイス、操作をカスタマイズするためのさまざまな調整可能なパラメータなど、いくつかのユーザーフレンドリーな機能が装備されています。ASYST WMS 2200には、幅広い自動リアルタイム診断、パラメータセット、バーコードリーダーシステム、および幅広いマテリアルトラッキングデータベースおよびユーティリティが含まれており、運用の信頼性と柔軟性が向上します。結論として、WMS 2200は、強力なオートメーション、高度な安全機能、ユーザーフレンドリーな機能を組み合わせ、高速で高精度な操作を可能にする、多くのアプリケーションに適した完全なウェーハハンドリングソリューションを提供します。幅広いマテリアルハンドリング、トラッキング、プロセス制御機能により、このハンドラーは半導体および光電子メーカに最適です。