中古 ASYST WIS #9301462 を販売中
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ASYST WISは、過酷な環境向けに設計された高度なロボットウェハハンドラです。半導体ウェーハ処理の自動化を合理化し、精密制御と高いスループット率を確保するように設計されています。基板表面にロボットウエハを高速かつ高精度に接着することができます。WISは、独自の設計によりエンドエフェクターへの最大限のアクセスを提供し、直感的なタッチスクリーンインターフェイスを介してユーザーフレンドリーなロボット制御を提供します。このシステムは、最大12インチの大型ウェーハに対応でき、ツールごとに1つまたは2つのウェーハ位置を持つ。それは容易なアクセスおよび維持を保障するために移動可能な基盤に便利に取付けられます。ASYST WISは、高速ウェーハピックアンドプレイスユニット、ウェーハ識別用ビジョンマシン、コンタミネーションコントローラ、温度と湿度センサーなど、豊富な機能とオプションを備えています。また、ウェーハキャリア、フレーム、キャリッジ、その他のツールメカニズムをロボットマニピュレータにマウントするエンドオブアームツーリング(EOAT)ツールも含まれています。WISにはURSA Vision Assetが含まれており、ロボットに効率的な処理のためにウェーハを識別、測定、方向付けする機能を提供します。ASYST WISモデルは、生産性を拡大し、ダウンタイムを削減するために、既存のオートメーションツールや機器と統合されています。モジュール式で柔軟な構造により、生産能力をアップグレードおよび拡張し、低コストの運用を維持するための多数のオプションを提供します。また、オプションのAutotech edge-remaining-chip-on-waher (ECOWAS)システムを搭載しており、余分なウェーハ材料を自動的に除去できます。WISはメンテナンスの容易さを念頭に設計されています。それは速い点検および修理のためのアクセスの多くのポイントの防蝕部品から成っています。また、ロボットとユーザーの両方のためのより安全な操作を提供するために、最新の安全装置で構築されています。ASYSTは、さまざまなカスタマイズされたソリューションを提供し、技術支援とサポートサービスを提供しています。ASYST WISは、半導体、コンシューマーエレクトロニクス、航空宇宙などのさまざまな業界のウェーハを効率的に取り扱い、接合するための理想的なソリューションです。これは、生産効率とスループットを向上させるために、既存のシステムと容易に統合できる優れた費用対効果の高いオートメーションツールです。
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