中古 ASYST VUV-7000 #9162955 を販売中

ASYST VUV-7000は、エレクトロニクス、医薬品、半導体業界などの業界のユーザーにとって、材料輸送と転送をより簡単かつ効率的にするように設計された高度な自動化機能を備えたウェハハンドラです。このデバイスは、11インチの合計移動範囲を備えた4つのリニアアクスモーションを備えています。各軸の動きは、極めて精密な材料位置決めと加工を可能にする統合サーボ装置によって駆動されます。また、ロボットアームが使用されている間、材料を安全に保持する統合真空システムも含まれています。VUV-7000のデュアルアーム構造により、ローディングやアンロード、ウェーハの転送や移動など、さまざまなウェーハ処理タスクを実行できます。ロボットは各軸に独立したモータ駆動を備えており、ウェハの回転を正確に制御して独立した動作を行うことができます。このロボットは0。2mmの微細な位置決め精度を持ち、6軸の能力により、超低トルククロストークとの高度なスピンドルカップリングを可能にします。これにより、ASYST VUV-7000は半導体製造プロセスにおける高精度材料輸送などの要求の厳しいアプリケーションに最適です。VUV-7000には、ウエハレベルの誘電試験ループが統合されており、ウエハーの誘電特性を測定し、処理中に測定します。このループは高度なコントローラーユニットと統合されているため、ユーザーはウェーハのパフォーマンスと材料の処理をより効率的に監視できます。さらに、ASYST VUV-7000は、脆弱なウェーハから真空シールされたデバイスまで、さまざまな材料を取り扱うことができます。その強化されたビジョンマシンにより、材料搬送経路全体をリアルタイムで監視することができ、機械の位置と動きをほぼ瞬時に調整することができます。VUV-7000はまた安全なエンクロージャおよびロックのメカニズムを含む広い安全特徴を、提供します。過酷な環境で使用されるように設計されており、50°Cまでの温度抵抗があります。要するに、ASYST VUV-7000ウェーハハンドラは、さまざまな業界のユーザーにとって、材料輸送と転送をより簡単で効率的にするように設計された高度なオートメーションソリューションです。その統合された真空ツール、6軸の機能、誘電試験ループと強化されたビジョンアセットはすべて、要求の厳しいアプリケーションに最適です。さらに、その安全機能と耐熱性の範囲は、過酷な環境に最適です。