中古 ASYST VersaPort #9277985 を販売中

ASYST VersaPortは、複数のステーションツール間で半導体ウェーハを素早く正確に移動できるように設計されたロボットウェーハハンドラです。これは、単一の完全に自動化された多軸ロボットを使用して、フロントエンドおよびバックエンド製品の積み下ろしプロセスを迅速化します。これにより、VersaPortはウェーハスループットプロセスアプリケーションに最適です。ASYST VersaPortは、半導体ウェーハ伝送のための高精度、再現性、および精度を高速で提供します。カスタムスキャン技術により構成可能な4軸または6軸設計を提供し、ウェーハを数秒で完全に交換できます。UltraSmooth®モーションコントロールシステムを備えており、滑らかで静かな動きを保証します。これは、すべての軸の同期運動によって達成されます。ハンドラーのサーボドライブと多軸ロボットアームはユーザーフレンドリーで、使いやすいソフトウェアプラットフォームでアクセスできます。VersaPortは、精密かつ効率的なウェーハ処理のための幅広い機能を提供します。これには、統合ビジョンシステム、ロボットエンドオブアームツール、およびさまざまなサイズのカセットを供給するための複数のパレット位置が含まれます。その負荷港は安全および保証のための帯電防止ピンによって磁気的に密封されます。このハンドラーは直感的なソフトウェアプラットフォームと完全に統合されており、さまざまなウェハサイズと種類のセットアップを簡単に行えます。ASYST VersaPortはまた、高度なセンサ技術を誇り、高精度な処理に比類のない性能を発揮します。このセンサ技術により、各ツール転送の間で手動ウェーハを中心にする必要がなくなります。また、可変ノズルを搭載し、幅広いウエハサイズに対応可能です。VersaPortはユーザーの安全を念頭に置いて構築されています。それは上および底カバードア、親指の安全スイッチ、軽いカーテン、連結および緊急停止ボタンのようないくつかの安全機能を統合します。これにより、ハンドラは常に安全かつ安全に保たれます。結論として、ASYST VersaPortは半導体ウェーハ交換用の高度で信頼性の高いロボットハンドラです。ユーザーフレンドリーなソフトウェアプラットフォーム、センサー技術、安全機能により、業界で最も効率的で正確なウェーハハンドラの1つです。