中古 ASYST VersaPort #9228375 を販売中

ASYST VersaPortは、フロントとリアの両方のウェーハストレージにおける半導体ウェーハの信頼性の高い、効率的な処理を提供するように設計された高性能ウェーハハンドラです。高度な設計により、最大200mm/秒でウェーハの積み下ろしが可能です。VersaPortは、主に集積回路チップおよびその他の関連部品の製造に使用されます。ASYST VersaPortは、ベースとキャリッジの2つのボディパーツで構成されています。ベースはユニットの基礎であり、ドライブモジュール、モーター、電源を収容します。キャリッジには、ウェハレセプタクルとウェハシャトルを含む主要なウェハハンドリングコンポーネントが含まれています。ウエハレセプタクルは、直径200mmまでのウエハを受け入れるように設計されています。金属およびプラスチック材料で構成されており、損傷なくウェーハの高速かつ信頼性の高い動きを保証します。ウェハシャトルは、ウェハーをレセプタクルからストレージコンパートメントに、またはエンドユーザーに直接移動させることができるメカニカルアームです。VersaPortには、効率的なウェーハ処理を保証するための高度なロボット技術と制御技術が搭載されています。高度なアルゴリズムにより、ウェーハの入力と出力を正確な速度と軌道で正確に処理し、ウェーハの正確な配置とピックアップを提供します。ASYST VersaPortには、さまざまなタイプのウェーハを識別して区別するための高度なビジョンシステムも装備されています。これにより、目的のウェーハの正しいルーティングが保証されます。VersaPortには、操作を制御し、ウェーハを管理および追跡し、診断を提供する強力なソフトウェアプラットフォームが含まれています。また、E-Stopやスピードリミッターなどの高度な安全機能も備えています。E-Stop機能により、アームとすべての操作を即座に停止でき、スピードリミッターはウェーハシャトルの速度を調整および管理できます。これにより、ウェーハの取り扱いの安全性が向上します。全体として、ASYST VersaPortは信頼性が高く効率的なウェハハンドラです。高度な設計により、ウェーハの高いスループット、データの正確な処理、ウェーハの正確な配置とピックアップが保証されます。その安全機能は、オペレータの保護とウエハハンドリングの品質を保証します。