中古 ASYST VersaPort #9219619 を販売中

ASYST VersaPortは、半導体ウェーハの自動ローディングとアンロードを提供するように設計されたウェーハハンドラです。完全自動化されたハンドラで、高いスループット容量を持ち、セットアップ時間を短縮し、人間の相互作用を最小限に抑えるように設計されています。VersaPortは、幅広いプロセスオプションとツール機能で最大限の柔軟性を提供するように設計されています。ASYST VersaPortは、最大直径200mmのウェーハに対応でき、サイクルあたり最大15個のウェーハを処理できます。直感的なユーザーインターフェイスを備えた効果的で効率的なウェーハハンドリングソリューションであるように設計されています。VersaPortには、プロセス制御、ウェーハソート、および検査機能を可能にするオプションのビジョンシステムが装備されています。これらのビジョンシステムはまた、ウェーハの傷などの欠陥を検出することができ、プロセス中の正確なウェーハ処理を可能にします。ASYST VersaPortは、さまざまなプロセスツールとのインタフェースが可能で、既存の処理ラインに統合することができます。手動で介入することなく、あるツールから別のツールにウェーハを転送する機能を備えており、インラインとオフラインの両方の動作に設定することができます。VersaPortには、高スループットと均一性を備えた複数のプロセスオプションがあります。これらのプロセスオプションは、スループットを最大化し、欠陥を最小限に抑えて最高の歩留まりを生み出すように設計されています。ASYST VersaPortは、ウェーハの充電、転送、および充電解除が可能な高度なロボット機器も備えています。このシステムは、プロセスツールのロードとアンロード時に正確なウェーハ処理を行うために、2段階の分解ユニットを使用しています。ロボットマシンはエネルギー消費を削減するためにエネルギー効率の良い設計によって動力を与えられます。オフラインプログラマブルなソフトウェアインターフェイスが組み込まれており、迅速なプロセス変更とレシピ開発が可能です。VersaPortは、オペレータとウェーハの安全を保証するさまざまな安全機構と機能を備えています。正確なアライメントと自動化されたウエハハンドリングにより、ヒューマンエラーを低減するように設計されています。統合されたビジョンツールが含まれており、不整合を検出し、プロセス修正のフィードバックを提供します。ASYST VersaPortは、直感的なユーザーインターフェイスと高度なオートメーション機能により、ダウンタイムを削減し、生産性を向上させるように設計されています。