中古 ASYST VersaPort #9213041 を販売中

ASYST VersaPortは、さまざまなアプリケーションの迅速かつ効率的な生産を可能にするように設計されたウェハハンドラです。VersaPortは、反転方向と水平方向で精度と信頼性を提供するシングルピースマルチステーションウェーハ転送機器です。ウェーハの自動ロードまたは手動ロードで複数のアプリケーションをサポートするように構成できます。ASYST VersaPortは、ユーザー定義可能な柔軟性を備えた単一のウェハハンドラの拡張を可能にするモジュラーシステムを使用しています。ユニットはできるだけコンパクトに設計されており、集中制御ハードウェアマシンによって制御されています。in-situ静電クランプツールは、移動中の正確な配置のために、運動軸とウェーハ間の一定の接触を提供します。VersaPortの高度な設計と直感的なユーザーインターフェイスは、効率的な生産を保証する豊富なコントロールと機能を提供します。ASYST VersaPortのサポートアクセサリをロボット本体に統合し、追加機能を提供できます。これには、自動ロードロックアドオン、プリアライナー、バッファスタッカーが含まれます。これらのアクセサリは、VersaPortを操作する際の手動処理量を削減するように設計されています。アセットには、アームのロード/アンロード、ウェハチャック、およびアプリケーションに応じてさまざまな構成を可能にするアダプタプラッターも含まれています。ASYST VersaPortは、高速ソート、高精度な機器制御、ウェーハ転送、インデックス作成が可能です。洗練されたビジョンモデルにより、ウェーハ認識、アライメント、バーコード読み取り性能を毎秒5+ウェーハで実現します。搬送時のウェハの安定性を維持する剛性フレーム設計と非接触センサ技術により、負荷安定性を確保します。また、窒素パージ、真空伝達、オプションの電子ビーム制御インターフェースなどの環境制御機能も備えています。VersaPortウェーハハンドリングシステムを使用すると、さまざまなウェーハアプリケーションで単一のプラットフォームの効率を体験できます。そのパワフルでコンパクトで信頼性の高い設計は、ウェーハ処理のニーズに費用対効果の高いソリューションを提供します。各アプリケーションの特定のニーズを満たすために拡張可能でカスタマイズ可能です。豊富な機能とアクセサリ、強力な制御機能を備えたASYST VersaPortは、製造効率とスループットを向上させます。