中古 ASYST VersaPort #9167556 を販売中

ASYST VersaPortは、ウェーハ処理の速度と精度を向上させるために設計された高度なウェーハハンドラです。それは実験および産業適用のために適している密集した、移動式装置です。高レベルのオートメーションと柔軟性を兼ね備えており、さまざまな構成に対応できます。VersaPortシステムは、最大250mmの最大200mmウェーハに対応でき、機密性の高いジョブにはN2-purgeオプションが組み込まれています。また、温度を一定に保つための高度なウエハ等温環境も備えており、ウエハ加工を成功させるために不可欠です。この汎用性の高いユニットは、自動ウェーハクランプとローディング、ウェーハの自動アライメントとステージング、および統合されたプリプロセス検査など、さまざまな機能を提供します。また、ウエハの位置を監視するためのウエハ最適化と内部ウエハモータ、および複雑な移動制御を保証するための統合された視覚機能を備えています。ウェーハ加工サイクル全体の自動化を可能にします。必要に応じて、正確で再現可能な位置決めと移動、および再現可能な測定とウェーハアライメントを提供します。このツールはまた、手動での介入を減らし、運用効率を向上させながら資産の信頼性を向上させるように設計されています。ASYST VersaPortは、高性能なソフトウェアツール、ツールセット、ライブラリによってサポートされており、ユーザーはモデルセキュリティを維持しながら操作を完全にカスタマイズできます。テクニカルサポートとトレーニング、サービスパッケージ、最新のソフトウェアアップデートを含むサポートパッケージがあります。最後に、VersaPort機器は、安全性とコンプライアンス機能の包括的な配列を提供します。これは、レーザーおよびウェーハの汚染保護を含む包括的な安全およびコンプライアンス規制、およびクリーンルームグレードのユーザーおよびマシンインタフェースを備えて設計されています。このシステムには、敏感なウェーハを処理するための複数の絶縁チャネルも備えています。結論として、ASYST VersaPortは、さまざまなウェハサイズと種類に対応できる強力で汎用性の高いウェハハンドラユニットです。自動化されたアライメントとステージング、プリプロセス検査、およびさまざまな安全およびコンプライアンス機能など、効率的で正確な処理を保証するさまざまな機能と機能を提供します。