中古 ASYST VersaPort #293745391 を販売中

ASYST VersaPortは、製造プロセスの一環として半導体ウェーハを輸送および操作するために使用されるウェーハ処理装置です。ウェーハをセルやフロントエンドのツールセットに移動および方向付けするために使用され、中央のPCベースのコントローラで動作します。VersaPortは製造ラインのさまざまな部品と統合でき、フロントエンドのローディングモジュールとアンローディングモジュール、およびいくつかの追加コンポーネントを備えています。ASYST VersaPortは、ロボット、ロボットドライブ、ポートアビリティロボット、ロボットコントローラーなど、固定ベースと複数の統合コンポーネントで構成されています。ロボットは、ウェーハをある場所から別の場所に移動させるだけでなく、それらを方向付けおよび操作する責任があります。また、緊急停止ボタンや、ウェーハの誤ったピンチや破損を防ぐ引き込み式アームなど、多くの安全機能を備えています。ポータビリティロボットは、ポータブルであり、異なるツールセット間を簡単に移動できるように設計されています。タイトな場所に収まるので、スペースセーバーでもあります。ロボットコントローラーはシステムの頭脳であり、効率的かつ安全にウェーハを動かし方向を変える方法をロボットに指示します。また、空気圧の流れを制御し、次のツールセットへの移動中もウェーハを安定させます。2つのシステムは、ロボットの垂直方向と水平方向の動きを担当するロボットドライブによって接続されています。VersaPortは人間工学的でユーザーフレンドリーであるように設計されており、簡単にアクセスできるだけでなく、ウェーハを効率的かつ安全に操作できます。それは管理し、維持すること容易であるWindowsベースの単位で動く。また、さまざまなレベルのアクセス権限を提供し、異なるユーザーが特定のニーズに合わせてマシンをプログラムすることができます。このツールは、バックエンドツールセット、フロントエンドローダー、デジタルイメージ取得システムなどの他のシステムと統合することもできます。全体として、ASYST VersaPortは、セットアップ、使用、メンテナンスが容易な効率的で柔軟なウェハハンドリングアセットです。信頼性が高く、ウェハ操作に安全な環境を提供します。さらに、モデルは様々な目的に合わせて高度にカスタマイズ可能です。