中古 ASYST VersaPort #293600170 を販売中

ASYST VersaPortは、半導体業界における多くのウェハハンドリングアプリケーションのニーズに対応するために、統合されたシングルロケーションロボット機器を提供するように設計されたウェハハンドラです。VersaPortは、ピック機能と配置機能の両方が可能であり、変化するプロセスと生産要件を満たすための高いレベルの柔軟性と拡張性を備えています。ASYST VersaPortシステムは、ロボット、コントローラ、周辺接続用のモジュールなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。関節ロボットアームとしても知られるVersaPortロボットは、自律的かつ適応的に機能する汎用性の高い高速ロボットユニットです。そのコントローラは、多軸モーションコントロール、パス制御、レシピ管理、ロボットコマンド実行を単一の階層制御マシンに統合する、統合されたモジュラーモーションコントローラです。周辺機器接続モジュールにより、ASYST VersaPortツールは、スピンチューブ、フリップチューブ、ピックアンドプレイチャックなどの幅広いウェーハ機器およびコンポーネントとのインタフェースを可能にします。VersaPortは、高度なロボットビジョンシステムを使用して、カセットスロットにウェーハを点検、識別、および正確かつ迅速に配置します。ASYST VersaPortはロードロック機能と真空管理機能も備えており、転送プロセス中にウェーハが脱出したり破損したりしないようにします。さらに、VersaPortには、資産の故障リスクを低減するための統合センサーと安全システムが付属しています。センサーは、モデル応力や負荷などのロボット領域の状況を検出して監視し、緊急時にロボットをシャットダウンまたは再ルーティングすることができます。安全システムには、統合されたドアインターロック装置と緊急停止ボタンが含まれます。ASYST VersaPortは、自動化されたウェーハ処理アプリケーションをサポートする強力なソフトウェアとプログラミング機能を備えています。包括的なモーションプログラミング機能、マルチレベル制御、パラメータと定義、高度なレシピ制御、および交換可能なプログラムシーケンスを備えています。さらに、VersaPortはさまざまなプロセスやアプリケーションで簡単に再構成できます。ASYST VersaPortは、さまざまなウェハハンドリングアプリケーション向けの汎用性の高い高速ロボットシステムで、優れた柔軟性と拡張性を提供します。自動化されたモーション、視覚検査、安全システムを統合して、シングルロケーションソリューションを提供します。VersaPortは信頼性が高く効率的なウェハハンドラであり、高い歩留まりで迅速かつ正確な操作を可能にします。