中古 ASYST VersaPort #293587537 を販売中

ASYST VersaPortは、コストを削減し、スループットを向上させ、半導体およびオプトエレクトロニクス生産のための高レベルのオートメーションを可能にするように設計された最先端のウェハハンドラです。VersaPortは、最大直径12インチのウェーハを取り扱うことができ、幅広いウェーハのサイズとプロセスに柔軟性を提供します。ウェーハを入力から出力まで、完全に自動化された方法で搬送および処理します。ASYST VersaPortは、ASIC （Application Specific Integrated Circuit）、アームモジュール、アダプタモジュール、ペリフェラルインターフェイスなど、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。ASICはASYST Technologiesの設計ツールキットの製品であり、VersaPort機器の中央制御ロジックとして動作します。システム全体をサポートし、ユーザー固有のニーズに対応します。アームモジュールはASYST VersaPortの必須コンポーネントです。ロボットアームにナックルジョイントされたエンドエフェクターを提供し、ウェーハを移動、回転、操作することができます。アダプタモジュールは、使用中にウェーハを安全にマウントするプラットフォームを提供し、コネクタ間で簡単にウェーハを交換できます。さらに、イオンインプラント、CVDスパッタリングシステム、硬化オーブン、マッピングツールなどの外部工作機械との統合にも使用できます。Peripheral Interfaceは、VersaPortの最後の主要コンポーネントです。これは、ASYST VersaPortとビジョンシステム、マッピングツール、プリンタなどの周辺機器との接続として機能します。アームモータとの連携により、これらのデバイスを容易に統合し、ウェーハ生産の遠隔監視を可能にします。VersaPortの現在のイテレーションでは、エンドエフェクター交換性（EEI）などのいくつかの追加機能が提供されています。これにより、エンドエフェクタを迅速かつ簡単に交換して、さまざまなウェハサイズ、レイアウト、ジオメトリ、プロセスに対応できます。EEIはまた、便利なメンテナンスと保守性によるダウンタイムを削減します。また、モジュラー性と構成性が高く、ユーザーのニーズに合わせた柔軟性と拡張性を備えています。コアのASYST VersaPortコンポーネントに加えて、ASYSTは、特定の生産ニーズに合わせてVersaPortをさらにカスタマイズするための追加のアクセサリ製品を提供しています。ASYST TechnologiesASYST VersaPortウェーハハンドラは、高いスループットとコスト効率の高いウェーハ生産のための究極のソリューションです。高度なエンジニアリング、専用アクセサリ、および設定性により、大量のウェーハや基板を自動的かつ正確に処理する方法を求める企業に最適です。