中古 ASYST VersaPort STD AMP #9251766 を販売中

ASYST VersaPort STD AMPは、ASYST Technologiesによって開発されたモジュール式、プログラム可能、自動化されたウェハハンドラです。VersaPort STD AMP機器は、カスタマイズ可能なように特別に設計された多軸ウェーハハンドリングソリューションで、生産要件を満たすための柔軟性を高めます。モジュラー設計により、最も複雑なウエハハンドリングプロセスの要求に容易に対応しながら、さまざまなウェハサイズに容易に対応できます。ASYST VersaPort STD AMPは、2軸システムと「J」と「L」のモーションスタイルを備えた高精度温度およびモーションコントロールユニットによってサポートされる標準的なロータリー多軸モジュールを備えています。また、ウェハハンドラには専用のウェハムーバーと専用の検知・洗浄装置を使用してウェハを効果的に洗浄する「オートクリーン」機能が搭載されています。VersaPort STD AMPには、スループットを最適化したパレタイジングプロセスも含まれており、1サイクルあたり最大25個のウェーハを処理でき、従来のウェーハハンドラと比較して大幅に高速な処理が可能です。ASYST VersaPort STD AMPは、拡散炉、蒸着室、熱アニーリング炉などのお客様のプロセスツールと完全に統合するように構成することができます。また、オプションの高度な検査機で欠陥ウェハを検出できます。VersaPort STD AMPの高度な機能セットには、統合された両面ウェハハンドラ、改良されたウェハローディング/アンロード、およびウェハサーフェスの汚染を低減するように設計されたダストフィルトレーションツールも含まれています。ASYST VersaPort STD AMPは、生産プロセスの中断を防ぐためのエラー回復と修正ルーチンを提供するプログラム可能な例外ハンドラを備え、安全で使いやすいです。この信頼性の高いウェーハハンドリングアセットには、コマンドの入力を簡素化する直感的なタッチスクリーンインターフェイスも備わっており、マルチレベルのセキュリティモデルにより、認定されたユーザーだけが機器にアクセスできるようになります。全体として、ASYST Technologies VersaPort STD AMPは汎用性と柔軟性に優れたウェーハハンドリングソリューションであり、信頼性が高く効率的なウェーハ処理ソリューションをユーザーに提供します。そのカスタマイズ可能なデザインは、現代の半導体産業のますます複雑な要求に対応するのに適しています。