中古 ASYST VersaPort STD AMP #293591862 を販売中

ASYST VersaPort STD AMPは、業界をリードする精度と信頼性で、さまざまな自動ウェーハ処理ステップをサポートするように設計された半導体ウェーハ処理ユニットです。STDAAMPは、ロボット技術の強力なVersaPortファミリを組み込み、最大10ミクロンの位置精度で一貫した反復可能なモーションプロファイルを提供します。この動作精度は、すべての環境条件およびロボットの動作半径の長さにわたって維持されます。VersaPort Standard AMPは、さまざまなウェーハサイズを受け入れるためのオープン機器設計を備えています。この設計により、キャリアやロードロックなどのさまざまなウエハハンドリングコンポーネントと容易に統合することができます。さらに、オペレーション制御ソフトウェアとインジケータを一体化し、ウェーハ処理ステップの自動化を簡素化します。このソフトウェアはまた、コンピュータやコントローラからの操作のリモート制御を可能にします。VersaPort STD AMPは、長年使用されている信頼性の高い動作を保証するために、堅牢なステンレススチールフレームで構成されています。統合された安全システムは、複数のレベルの環境監視と保護を提供します。この高度なユニットは、任意の予期しないオペレータまたは環境インシデントを検出して応答することができるため、最新の自動ウェハハンドリングマシンに最適な安全評価を提供します。STDAAMPはユーザーを念頭に置いて設計されており、循環キャリア、内部ギアボックス、モーターの交換などの部品への容易なアクセスとメンテナンスを提供します。その直感的なデザインは、各コンポーネントが適切な選択と使用のために色分けされたマーキングを持っていることを保証します。ASYST VersaPort STD AMPは、最大10 msの迅速な応答時間を提供するため、ウェーハ処理の時間を短縮するのにも役立ちます。全体として、VersaPort STD AMPは、半導体ウェーハ処理に最適な効率的で信頼性が高く、使いやすいウェーハ処理ツールです。統合された制御資産は、ウェーハ処理プロセスを簡素化しますが、堅牢で信頼性の高い構造は、メンテナンスを最小限に抑えて長年使用できます。