中古 ASYST VersaPort 2200 #9302463 を販売中

ID: 9302463
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ASYST VersaPort 2200ウェーハハンドラは、半導体ウェーハ処理用のウェーハ処理に使用される汎用性の高いデバイスです。VersaPort 2200は、ウェハローディング、ソート、アンロード、カセット交換など、さまざまなウェハハンドリング操作を実行できます。ASYST VersaPort 2200は、半導体ウェーハ処理の効率とパフォーマンスを向上させるために、多数の機能を備えて設計されています。300mm Zリフトの大容量ロボットアームを搭載しています。これにより、VersaPort 2200は200mmと300mmの大きなウェーハに対応でき、より小さなウェーハの取り扱いによる汚染を防ぎます。ASYST VersaPort 2200には、誤った取り扱いによる損傷を防ぐために、転送前にウェーハの位置と傾きを検出するSafePostセンサーが装備されています。これにより、ウェーハの欠陥による高額な修復費用が発生しません。VersaPort 2200は、調整可能なウェーハチャッキング装置も備えており、フルまたは部分チャッキングまたはノーローテーションなどのさまざまなプロセス要件を可能にします。小型75mmウェーハから大型300mmウェーハまで幅広いサイズ対応が可能です。ASYST VersaPort 2200は信頼性の高い高効率ウェーハ処理ユニットで、1時間あたり最大1725個のウェーハを処理できます。それはグラフィカルユーザーインターフェイスかリモート・コントロールによって制御され、容易で、精密な操作を可能にします。VersaPort 2200にはオプションのバーコードリーダーも用意されています。これにより、セキュリティが強化され、正しいウェーハが毎回正しいカセットにロードされるようになります。ASYST VersaPort 2200には合計120個のポケットがあり、1カセットにつき最大40個のウェーハを搭載できます。これにより、利用可能なスペースを最大限に活用できます。幅広いウエハータイプに対応できるため、大規模な半導体加工に最適です。全体として、VersaPort 2200は、信頼性の高いパフォーマンスと汎用性の高い機能により、ウェハハンドラの優れた選択肢です。大容量で調整可能なチャックマシンは、多数のウェーハを短時間で処理できるため、半導体ウェーハ加工に最適です。
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