中古 ASYST VersaPort 2200 #9245689 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、半導体オートメーションソリューションのリーディングプロバイダーであるASYST Technologiesによって設計された革新的なウェハンドラです。4本のシャトルアームを備えた完全自動化プラットフォームであり、迅速なウェハースループットと柔軟なウェハハンドリングを可能にします。VersaPort 2200は、最高の生産性、精度、品質要件を満たすように設計されており、ウェーハ転送オペレーションに費用対効果の高い自動化を提供します。ASYST VersaPort 2200は、9×9の柔軟なモジュラーウェーハプレゼンテーションと転送機器を備えています。200mmウェーハと300mmウェーハの両方に対応しています。交換可能な4つのシャトルアームは、設定可能な動きの範囲を提供します。これにより、シャトルアームのカスタマイズされた正確で正確な操作が可能になり、ベア（加工されていない）と加工されたウェーハの両方で高いスループットを達成できます。このシステムは、幅広いウエハハンドリング操作を実行するようにプログラムすることができます。このユニットには、プロセスを監視するためのリアルタイムデータを提供する統合された高度なウエハトラッキングマシンもあります。また、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンHMIを備えているため、オペレータは特定のニーズに合わせてパラメーターを素早く簡単に調整できます。また、転送操作中にウェーハや基板の情報を検出、検査、確認するための高度なビジョンツールを備えています。VersaPort 2200は、厳格なクリーンルーム要件に準拠するように設計されています。業界をリードする超低振動設計を採用し、振動を最小限に抑え、最も脆弱なウェハでも安全に取り扱うことができます。これは、粒子の汚染を最小限に抑えるために連動し、チャンバー全体に高精度の空気の流れを制御し、再循環することができる高度な空気資産を持っています。ASYST VersaPort 2200は、強力で信頼性が高く、費用対効果に優れたウェハハンドラです。ウェーハ搬送における最高の生産性、精度、清浄度の要件を満たすように設計されています。ウェハハンドリングのニーズを満たすために、生産および開発施設に最適です。