中古 ASYST VersaPort 2200 #9230186 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、半導体製造プロセスと最終的な半導体デバイスの製造に必要なテストを実行する機器との間のスムーズでシームレスなインタフェースを提供するように設計された洗練されたウェハハンドラです。VersaPort 2200は、半導体製造プロセス内のさまざまなステップ間のウェーハの自動搬送を可能にします。ASYST VersaPort 2200は、いくつかの主要コンポーネントで構成されています。VersaPort 2200の最初のコンポーネントは、半導体ウェーハを運ぶためのモジュラーフレームであるキャリアです。これらのキャリアにはセンタリングピンが装備されており、オートカセット、ホットワークステーション、温度ステーションなどの他のモジュールと簡単に結合することができます。自動化プロセス中、キャリアはロボットアームにロードされ、ウェーハをキャリアにアンロード、転送、および再配置されます。ASYST VersaPort 2200の2番目のコンポーネントは、オートカセットローダーです。このデバイスは、ウェーハを迅速かつ確実にキャリアへロードするように設計されています。オートカセットローダーには2つの事前設定済みカセットタイプがあり、必要に応じて手動で変更できます。さらに、オートカセットローダーは、さまざまなウェハサイズと厚さに対応するために調整可能なスロットサイズを備えており、一度に最大500個のウェハをロードすることができます。3番目のコンポーネントは、製造およびテストのための特定の温度で「ホットグリップ」し、ウェーハを転送するように設計されているホットワークステーションです。ホットワークステーションは、ウェーハに焦点を当てた高強度レーザーを使用して、迅速かつ正確に確実に転送します。さらに、ホットワークステーションには、温度の異なる温度でウェーハを収容するために、0〜1000°Cの調節可能な温度範囲があります。VersaPort 2200の4番目のコンポーネントは、製造または試験プロセスの前にウェーハ温度を安定させるために使用される温度ステーションです。温度ステーションは、温度制御チャンバーとクーラントマニホールドの2つのセグメントで構成されています。温度制御チャンバーは-100〜+100°Cの温度範囲で調整可能で、ウェーハの一定温度を維持するのに役立ちます。クーラントマニホールドは、ウェーハに低温冷却または熱処理ガスを供給するように設計されており、正確なウェーハ温度設定が可能です。ASYST VersaPort 2200の最後のコンポーネントは、ロボットモジュールです。このモジュールは、一度に1〜12個のウェーハを搭載できるため、最大600個のウェーハをテストすることができます。このロボットモジュールは、VersaPort 2200の自動機能と、半導体製造プロセス内でウェーハを転送および再配置する機能を可能にします。さらに、ロボットモジュールは、輸送プロセス中のエラーを検出し、さらなるアクションのためにそれらを報告する機能を持っています。全体として、ASYST VersaPort 2200は、半導体製造プロセスを最適化する信頼性と効率の高いウェハハンドラです。VersaPort 2200は、温度に応じて迅速かつ正確にウェーハを輸送する機能を備えています。さらに、ASYST VersaPort 2200は、ウェハテストと製造のスループットを最大化するのに役立ちます。