中古 ASYST VersaPort 2200 #9220701 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、自動ウェーハ処理用に設計された高性能ウェーハハンドラです。最大200 mmのウエハに対応可能で、最大500個のウエハに対応可能です。VersaPort 2200は、正確なウェーハ配置制御を提供するCAE Armメカニズムを利用しています。CAEアームには真空ピックアップヘッドが装備されており、オペレータは個々のウェーハスライスをVersaPortのスロットに正確に取り付けることができます。VersaPortは、ウェーハの向き、自動アライメント、ウェーハのサポートなど、優れたウェーハハンドリングを提供するように設計された幅広い機能を備えています。また、完全に自動化されたカセットローダーとアンローダー、もう一つの大きな利点があります。これにより、オペレータは処理用の大量のウェーハを迅速に準備できます。ASYST VersaPort 2200は、熱および光学薄膜の蒸着、リソグラフィ、ウェットエッチング、ドライエッチング、パッシベーション、ウェハボンディングなど、さまざまなプロセス機能を提供します。また、ロボットアームを内蔵しており、疲労を軽減し、オペレータの操作を簡素化します。最後に、VersaPort 2200は、滅菌環境を維持するために必要に応じて密閉することができるため、クリーンルーム環境での使用を想定して設計されています。また、さまざまな安全プロトコルと互換性があり、統合された安全機能によって100％安全コンプライアンスが保証されています。全体として、ASYST VersaPort 2200は、さまざまな自動プロセスを迅速に処理できるように設計された高性能なウェハハンドラです。その様々な機能と機能は、あらゆるウェハファブリケーションと加工の課題に最適です。