中古 ASYST VersaPort 2200 #9220477 を販売中

ASYST VersaPort 2200 Wafer Handlerは、半導体およびMEMS試験、アセンブリ、およびウェハレベルのパッケージング操作における2「および3」ウェーハの処理を自動化するロボティクス機器です。このシステムは、ウェーハプローブ、ソート、マッピング、クリーニング、検査およびテストなど、さまざまなウェーハハンドリング操作をサポートするように設計されており、堅牢な超高真空チャックドライブが装備されています。VersaPortは、プライマリシャーシ、プロセスモジュール、インテリジェントコントロールユニットで構成されています。主要なシャーシは主要なドライブ機械および真空のチャックが含まれているので、すべての機械機能のための基盤を提供します。プロセスモジュールは、さまざまなアプリケーションの異なるウエハハンドリングツールに対応できるため、ツールに柔軟性と拡張性を追加します。VersaPortのインテリジェント制御アセットは、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）を使用して簡単にモデルのセットアップと変更を容易にします。VersaPortはオペレータを念頭に置いて設計されています。それは完全な機械連結およびプログラム可能な安全地帯装置を含む多数の安全特徴が装備されています。さらに、このシステムは、IP65レベルの金属ハウジング、HEPAフィルタ、ガスシールされたロボットアームで設計されているため、過酷な生産環境に耐えることができます。また、XYZ軸統合、XYポジショナー、リニア変換段、2軸ムーブメントマシンを採用し、高い精度を実現しています。これにより、単一のツール内でウェーハの転送、分離、配送を完全に正確に制御できます。VersaPortも最大限の生産性を実現するように設計されています。このアセットは、1バッチあたりのさまざまなウェーハを処理することができ、スループット速度は1時間あたり最大200ウェーハです。さらに、結晶剛性軸は、モデルの速度と精度を向上させるため、より高い加速を可能にします。さらに、VersaPortは、モジュール設計とさまざまな拡張可能なコンポーネントを備えているため、フットプリントが低いです。全体として、VersaPort 2200は半導体およびMEMS製造業界向けの革新的なウェハンドラであり、高精度とスループット機能、およびスケーラビリティと安全機能を備えた業界の厳しいニーズに対応するように設計されています。