中古 ASYST VersaPort 2200 #9211682 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、重要かつ大容量のアプリケーション向けに設計された多用途ウェハンドラです。チップの生産と大量または重要なウェーハの負荷/アンロード要件に効率的で信頼性の高いソリューションを提供することを目的としています。VersaPort 2200は高度なシステムで、再現性と精度の高い複雑な製品のコスト効率の高い生産を可能にする多機能操作を提供します。このシステムには、交換可能なウェハマガジン、インターフェイスアーム、ウェハトランスポートアーム、ウェハポジショナなどの複数のコンポーネントが含まれています。交換可能なウェハマガジンは、200mm、 150mm、 100mmのウェハカセットに対応するように設計されており、さまざまな用途で使用できます。マガジン自体は、前方と後方、および上下に移動可能であり、負荷位置から近くまたは遠くに使用することができます。インターフェイスアームは、ローディングとアンロードのためのウェーハの位置決めを安全かつ一貫した方法で提供します。これは、X軸とY軸の高速かつ正確な移動を可能にするデュアルモーター機能を備えたシングルアームで構成されています。また、内蔵されているヒンジのおかげでウェーハを軽く持ち上げて放つこともできます。ウェーハトランスポートアームは、ウェーハマガジンからウェーハカセットを転送し、ウェーハポジショナにロードする責任があります。それは前方および逆の動きの機能が装備されています、従って容易にカセットを両方方向に動かすことができます。また、ウェーハカセットがメカニズムの他の部分と接触する可能性を最小限に抑えるように設計されているため、ウェーハの保護に優れています。最後に、ウェーハポジショナーは、必要なプロセスを経る間、ウェーハを安全に保持するように設計されています。ウェーハを正確かつ正確に配置し、プロセスの再現性と信頼性を確保することができます。全体として、ASYST VersaPort 2200は、大量のウェーハ処理に包括的かつ完全なソリューションを提供します。高度な複数のコンポーネントは、システムが信頼性が高く正確であることを保証しますが、効率的な設計は、複雑で重要な製品を生産する費用対効果の高い方法をもたらします。