中古 ASYST VersaPort 2200 #9211544 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、半導体業界におけるウェーハのロード、アンロード、転送を容易にするように設計された完全自動ウェーハハンドラです。ウェーハのハンドリング操作やスループット時間において、最適な自動化と柔軟性を実現します。VersaPort 2200は、最大200個のウェーハを、最大20個のカセットに収納できます。カメラとビジョンベースの統合認識システムを備えており、ウェーハを正確に識別およびソートし、部品のトレーサビリティを可能にし、大量生産のためのツールキットを最適化します。カメラはまた、正確な処理のためにウェーハを測定することができ、ソフトウェアは、特定のアプリケーションのためにさらにカスタマイズすることができます。ASYST VersaPort 2200には2つの独立したロボットアームが装備されており、それぞれ独立してウェーハを取り出して配置することができます。ウェハ回転機能は、2つのロボットアームとリニアテーブルを採用し、ウェハの中心を維持して相対位置を制御し、正確なハンドリングと処理を保証します。VersaPortは、ウェーハテスト、CVD、表面処理、プライムポンピングステーションなど、さまざまなターゲットツールへの柔軟で自動化された転送も提供します。VersaPort 2200は、1分間に最大30枚のウェーハを高速で動作させることができ、大量生産に適しています。その堅牢で安全な構造は、振動を最小限に抑え、サイクルタイムを短縮するように設計されています。ユニバーサルアーキテクチャにより、既存のオートメーションフレームに簡単に統合でき、モジュラー部品によるダウンタイムを最小限に抑えることができます。ASYST VersaPort 2200は、統合されたエンドエフェクター、専用のリジェクトビン、ウェハローディングオプション、およびリモート診断機能など、さまざまな追加機能を提供しています。