中古 ASYST VersaPort 2200 #9174528 を販売中
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ASYST VersaPort 2200ウェハハンドラは、自動ウェハトランスファーおよびウェハハンドリング操作用に設計された精密ロボットアームです。このハンドラーは6軸ロボットアームを備えており、プログラマブルな直線運動と角度運動を持ち、インテリジェントなモーションコントローラによって制御されています。このモーションコントローラを使用すると、モーションパラメータとモーションプロファイルを簡単に設定でき、正確で正確なウェハハンドリングが保証されます。また、統合されたツールチェンジャーを備えているため、異なるツールと追加のマテリアルハンドリングアクセサリを簡単に切り替えることができます。これには、真空チャック、ツールフランジ、ウェハサクションディスク、ウェハトランスファーシリンダーが含まれます。これにより、シリコン、セラミックス、ガラスなど、異なる材料を持つウェハをアームの上下に効率的に転送できます。統合ビジョンシステムは、VersaPort 2200のウェーハ処理機能をさらに強化します。ビジョンシステムは、ウェーハの向きとハンドラの経路への障害物の存在を検出することができ、ユーザーは滑らかで正確な動きを確保するためにモーション設定を調整することができます。ASYST VersaPort 2200は、ユーザーがニーズに合わせて設定できる柔軟な設計です。それは使いやすく、必要なソフトウェアとドライバが満載されたPCベースのインターフェースを搭載しています。また、オプションのタッチスクリーンを含むデジタルおよびアナログ出力のフルレンジがあり、ウェーハ処理タスクのプログラミングと監視を可能にします。VersaPort 2200には、ワーカーとシステムの両方を予期しない動作から保護するために、幅広い安全機能が組み込まれています。非常停止ボタンが内蔵されており、操作を迅速に停止し、ユーザーを衝撃から保護するように設計されており、外部要素から保護するためのオプションの安全エンクロージャを備えています。これらの安全機能のすべてにより、ASYST VersaPort 2200は自動ウェハ転送およびウェハハンドリング操作に最適です。
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