中古 ASYST VersaPort 2200 #9164509 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、最も困難なウェーハ加工環境での効率的で信頼性の高いウェーハ処理用に特別に設計された、高性能、マルチサイト、多軸ウェーハハンドラです。頑丈なステンレス製フレームを備え、革新的なロボット技術を使用して優れたウェーハ制御と柔軟性を提供します。VersaPort 2200は最高のパフォーマンスを提供し、最大サイクルタイムは5秒で、ウエハサイズは直径600mmまで対応できます。デュアルグリッパーウェーハハンドリングシステムは、近くの部品を汚染する可能性を最小限に抑え、現場間の安全で信頼性の高いウェーハ輸送を可能にします。重心は機械化と手動の両方を可能にするように設計されており、重力ラッチは小さなウェハ径でも安全なハンドリングを提供します。ASYST VersaPort 2200は、回転シャトルを使用して、より高速な2軸アライメントと最適な粒子フィルタリング、および特定のニーズに合わせたカスタムウェーハハンドリングソリューションを可能にするモジュラー設計を可能にします。また、統合されたビジョンシステムと高度な安全対策を備えており、特大ウェーハの検出用の追加スキャナや緊急停止スイッチとのインタフェースを備えています。さらに、インテリジェントなソフトウェア機能により、簡単なプログラミングと生産プロセスとの密接な統合が可能です。VersaPort 2200は業界最先端の液体処理システムと互換性があり、最も複雑なプロセスに最適です。また、オプションの工場内統合ウェーハクリーニングシステムも備えており、フルスイートの自動ウェーハクリーニングプロセスが含まれています。これらのプロセスにより、廃棄物を最小限に抑えて最大200個のウェーハを迅速かつ効率的に洗浄できます。全体として、ASYST VersaPort 2200は半導体産業の最も要求の厳しいニーズを満たすように設計された先進的で高性能なウェハハンドラです。モジュラー設計、高度な安全システム、高速サイクルタイムにより、あらゆる製造環境に最適です。