中古 ASYST VersaPort 2200 #293766319 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ASYST VersaPort 2200は、半導体製造工場内のウェーハ処理プロセスを自動化するために設計されたウェーハハンドラ装置です。このシステムは、リソグラフィ工具、蒸着工具、エッチャー、炉、めっきシステムなど、さまざまな工程ツール間でウェーハを迅速かつ安全にロード、ソート、および配信することができます。これにより、手動処理の必要性が低減され、汚染のリスクが低減され、生産時間が短縮されます。VersaPort 2200は、優れた自動化とスループットを提供する高性能ウエハハンドラです。このユニットは密接に結合されたユニットとして構築されており、情報の同期と保存を容易にする最大限のサポート機械の利点を生み出しています。ASYST VersaPort 2200は自動または半自動で動作するため、オペレータの制御性と柔軟性が向上します。VersaPort 2200は、2つの独立したモータ駆動のFOUPハンドリングモジュールを備えており、フィーダとFOUPポート間のペースを独立して変更できます。これにより、オペレータは生産要件の変化に迅速に対応できます。このツールはまた、ウェーハの品質と形状を自動的にチェックする統合ビジョンデータベースを備えており、信頼性と正確な動作を保証します。さらに、ASYST VersaPort 2200のストレージモデルに保存されているプロセスレシピにアクセスできます。 VersaPort 2200は、オペレータの介入を最小限に抑え、信頼性の高い効率的なウェーハ処理装置を提供するように設計されています。そのため、すべてのコンポーネントは最高水準の品質と信頼性に基づいて構築されています。このシステムは自動チャンバーのデサービスユニットを使用しているため、手動での取り扱いが不要で、時間と労力を節約できます。ASYST VersaPort 2200には、ウェーハ負荷/アンロードマシンが内蔵されているため、手動でウェーハを移動する必要がありません。さらに、ユニークな出入口ドアは、汚れや破片に対する保護を提供し、クリーンな環境を確保します。これらの機能に加えて、このツールは比類のない使いやすさとアクセスを提供します。ASYSTの高度なWaferFlowソフトウェアは、直感的なグラフィカルインターフェイス、リモート監視、レポート機能を備えたVersaPort 2200アセット全体をユーザーが完全に制御できます。これにより、運用上のハードルを低減し、アップタイムを維持し、生産の最適化を確実にすることができます。とりわけ、ASYST VersaPort 2200は信頼性の高いウェーハハンドリングとオートメーションプラットフォームを提供し、プロセスの効率を最大化し、生産ダウンタイムを最小限に抑えます。そのユニークなデザインは、高い信頼性と費用対効果を提供します。堅牢なソフトウェアスイートは、ユーザーが必要なすべての機能にすばやくアクセスできることを保証し、市場投入までの時間を短縮します。
まだレビューはありません