中古 ASYST VersaPort 2200 #293761417 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、半導体業界の効率を最適化するために設計された革新的なウェハハンドラです。この信頼性の高い完全自動化されたウェーハ転送システムは、一度に最大50個の8インチ、12インチ、または200 mmウェーハを迅速に処理できます。この汎用性の高いツールは、高いスループットと正確な位置決め操作の両方が可能です。VersaPort 2200は、アレイモジュール（ウェーハ転送用）とロボットアセンブリ（ウェーハマッピング用）の2つのパーツで構成されています。アレイモジュールには真空装置と静電チャッキング技術を採用し、簡単で正確なウェーハ転送を容易にします。また、ロボットアセンブリには、高度なビジョンガイダンスシステムによって促進されたXYZテーブルを使用してウェーハをマッピングします。アレイモジュールとロボットアセンブリの両方が、高精度で再現性のある配置と向きの品質を提供するために一緒に動作するように設計されています。優れたウェーハ処理性能に加えて、ASYST VersaPort 2200はテーブルに高度な安全機能をもたらします。統合された真空ロックシステムは、ウェーハを安全にロックすることでウェーハの取り扱いミスを防止します。また、内蔵の安全ロックメカニズムにより、ウェーハマッピングプロセス中の事故を防止します。VersaPort 2200は、既存のソフトウェアおよびハードウェアと完全に互換性があり、既存の工場環境に簡単に統合できます。多目的な設計は容易なカスタマイズおよびプログラミングを可能にし、各生産ラインの個々の必要性に適するようにすぐに構成することを可能にします。ASYST VersaPort 2200は、最新の半導体産業の急速な生産要件に対応するように設計された、信頼性とエネルギー効率に優れたウェハハンドラです。使いやすいインターフェイスと高度な安全機能により、研究開発ラボでのウェーハ処理効率を向上させるための理想的なソリューションです。