中古 ASYST VersaPort 2200 #293748864 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、バックエンド半導体プロセス用に設計された完全自動ウェーハ処理装置です。直径2〜6インチ（50mm〜150mm）の広範囲のウェーハサイズで、1時間あたり最大200個のウェーハを処理するように設計されています。直感的なタッチスクリーンインターフェイスを備えており、セットアップ、自動化されたウェーハ識別、転送、およびロボット操作を通じてユーザーを導きます。VersaPort 2200には、真空ロボット（VR）と移動ボードロボット（MBR）の2つの統合ロボットデバイスが装備されています。真空ロボットは、ウェーハを転送する際に高い再現性と精度を保証します。VRには、複数のウェーハソースに接続するための大規模なIOポートが組み込まれており、ダウンタイムを最小限に抑えながら高速な転送時間を実現します。MBR （Moving Board Robot）は、3つの真空環境を利用して適切なウェーハ配置を確保し、高速ウェーハ転送を可能にします。ASYST VersaPort 2200の堅牢なウエハハンドリング技術により、安全性と信頼性が保証されます。ウエハセンシングとジャム検出は、統合されたライトカーテンを介して提供されます。さらに、正確なロードプレーナープログラミングにより、システムは複数のウエハータイプとサイズを識別して処理することができます。ウェーハコントロールセンターやSmartRecipe Toolなどのソフトウェアコントロールオプションは、操作全体を正確に制御します。この先進的なウエハハンドリングユニットには、ユーザーの利便性を高めるためのオプションアクセサリーも揃っています。これらのアクセサリーには、複数のウェハの保管と取り扱いのためのウェーハキャリアトレイマシン、およびコンベアツール上のウェーハキャリアを保持するためのウェーハチャックが含まれます。VersaPort 2200には、互換性のあるコンポーネントとツールの拡張ライブラリもあり、ダウンタイムを最小限に抑えながら複数のプロセスを統合できます。ASYST VersaPort 2200は、バックエンドプロセスの厳しい要求に対応するように設計された信頼性の高い正確なウェーハハンドリングアセットです。高度なオートメーションと制御機能により、スムーズな動作と信頼性の高いウェーハ転送を実現します。VersaPort 2200は、直感的なユーザーインターフェイス、調整可能なアクセサリーオプション、および互換性のあるコンポーネントの拡張ライブラリを備えており、最も要求の厳しい半導体生産環境に適しています。