中古 ASYST VersaPort 2200 #293727855 を販売中

ASYST VersaPort 2200は、300mmおよび200mmの半導体製造プロセスで使用するために設計された高速ウェハハンドラです。効率的で信頼性の高いウェハハンドリングを可能にするさまざまな機能と機能を提供します。VersaPort 2200は、クリーンルームおよびプロセス自動化アプリケーションに最適化された6軸SCARA （Selective Compliance Assembly Robot Arm）ロボットアームを備えています。ロボットアームは、± 5ミクロンの再現性で最大2300mm/秒の速度で動作し、半導体製造プロセスのスループットを大幅に向上させることができます。完全にプログラム可能なモーションコントロールプラットフォームは、モーションパラメータとシーケンス間の緊密な調整を可能にします。統合されたビジョン装置は、ウェーハ、カセット、キャリアなどの幅広いコンポーネントを正確に見つけて識別します。カセット/キャリアポジションは、ロボットアームのメモリ内で事前に定義されているため、手動でのロードが不要です。ASYST VersaPort 2200は、簡単なドラッグアンドドロップ構成で直感的なウェーハハンドリングワークフローを提供し、オペレータの効率を向上させます。ユニットには、ユニットの動作と状況を監視し、危険な状況を検出し、適切な回復措置を開始する安全システムが内蔵されています。オープンアーキテクチャにより、さまざまな半導体フロントエンドおよびバックエンド機器と容易に統合できます。将来の生産プロセス要件との互換性を確保するために、ASYSTはVersaPort 2200をカスタマイズするためのさまざまなソフトウェアオプションを提供します。これには、標準的なコンピュータから簡単に使用できる新しいGUIインターフェイスが含まれています。機械はウェーハの処理および処理のためのSEMI E94-9342の標準に迎合的です。さらに、ASYST VersaPort 2200はRoHSに準拠しています。VersaPort 2200は、半導体プロセス自動化のための柔軟で信頼性の高いウェハハンドリングソリューションです。その強力なモーションコントロールプラットフォーム、統合ビジョンツール、直感的なユーザーインターフェイス、オープンアーキテクチャにより、プロセスオートメーションエンジニアはスループットを大幅に改善できます。そのユーザーフレンドリーな設計、統合された安全資産、およびSEMI E94-9342標準との互換性により、半導体ウェーハの取り扱い作業に最適です。