中古 ASYST VersaPort 2200 VPO #9392803 を販売中

ASYST VersaPort 2200 VPOは、直径12インチ（300mm）までのウェーハの取り扱いなど、さまざまな要求の厳しいアプリケーション向けに設計された高性能ウェーハハンドラです。VersaPort 2200 VPOは、ロボット内蔵のフルサイズのウェーハ転送機器で、幅広い動作において最大限の柔軟性と効率をユーザーに提供するように設計されています。ASYST VersaPort 2200 VPOは、高度なモーションコントロール技術と信頼性の高いロボティクスおよびウェーハ処理環境を組み合わせ、半導体ウェーハ製造プロセスに柔軟かつ効率的なプラットフォームを提供します。VersaPort 2200 VPOは、25mm （1インチ）から300mm （12インチ）までの互換性のある直径範囲でウェーハを取り扱うことができます。ウェーハフィーダは、均一な高さでマシン上に配置され、ウェーハ転送に一貫した環境を提供します。このシステムは、ウェーハの安全なグリップのための真空転送チャックの使用を含む、迅速かつ信頼性の高いウェーハ転送操作を可能にする多くの機能を備えて設計されています。ASYST VersaPort 2200 VPOはまた、さまざまな方向にスムーズかつ正確な動きを可能にするユニークなロボットモーションコントロール技術を使用しています。これにより、ロボットはウェーハを最適な位置に正確に配置することができ、ウェーハの一貫した高性能な取り扱いをユーザーに提供します。また、ロボット内蔵の自動ストッカーを搭載し、安全・安心な環境で大容量のウェーハを保持することができます。このストッカーは、さまざまなウェーハサイズを格納することができ、機械の操作に高い柔軟性を確保します。VersaPort 2200 VPOは、高度なロボットモーション制御機能を備えており、精密半導体プロセスにおいて信頼性と高性能なウェーハ処理環境を提供するよう設計されています。このツールの一貫性と汎用性により、精密なウェーハ処理を必要とする半導体関連アプリケーションに理想的なソリューションとなります。