中古 ASYST VersaPort 2200 STD #9043893 を販売中

ASYST VersaPort 2200 STDは、高精度のロボットウェハローディングとアンロード用に設計されたウェハハンドラです。高さ25mmのカセットキャリアで、2インチから8インチまでのさまざまなウエハサイズに対応できます。この自動化プラットフォームを使用すると、ユーザーはプロセスセル内でウェーハを輸送するためのカスタムワークフローを作成できます。最先端のロボットモーション制御技術により、最大0。35m/secの速度で+/-0。03mmのウェハセンタリング精度を実現します。「run on short」機能が内蔵されており、ユーザーは短いウェーハやカセットサイズのエラーを補正するために、ロボットモーションパスを素早く調整できます。これにより、動作中のウェーハ転送の成功を保証します。その信頼性とメンテナンス性の高い設計により、正確で再現性のあるロボットモーションと最小限のダウンタイムが保証されます。安全インターロックは、潜在的な汚染からユーザーと機器を保護するために、すべてのコンポーネント部品に組み込まれています。オプションのガスパージシステムは、積み下ろし時に保護ガスバリアを提供することにより、クリーンルーム環境を維持するのに役立ちます。VersaPort 2200独自の設計により、ウェハファブ環境内で最小のフットプリントで動作できます。2つのモーター付きリニアロボットアーム、ウエハカート、サポートフレームが含まれています。2つのロボットアームは、x軸とy軸の両方の線形レールに沿って同時に移動します。データロギングとトレーサビリティもオプションのData Acquisition Interfaceで提供されます。高いレベルのパフォーマンスを保証するために、VersaPort 2200はメンテナンスコストを削減しながら、迅速かつ簡単にインストールできるように設計されています。ウェーハと真空結合するための空気圧エネルギーを提供するポンプを内蔵し、信頼性の高いウェーハセンタリングとハンドリングを実現しています。すべての部品に粗い環境の信頼できる操作を保障する塵および水保護があります。要約すると、VersaPort 2200 STDは、高度なロボットモーション制御技術を搭載し、安全機能を備えた高性能ウエハハンドリングシステムです。既存のファブプロセスおよび機器との相互運用性により、市場投入までの時間を短縮し、所有コストを削減できます。VersaPort 2200は、高精度、高信頼性、長寿命の設計により、ウェハ製造に最適です。