中古 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #9390211 を販売中

ASYST VersaPort 2200 Shuttleは、ウェーハの自動テスト用に設計された次世代ウェーハハンドラです。複数の試験ステーション間でウェーハを効率的に移動させることができ、試験中にウェーハを正確に配置することができます。このシャトルは信頼性が高く、さまざまなウェーハ径と厚さのための大きなクランプ範囲があります。シャトルはまた、ウェーハの位置への正確な動きのための調整可能な速度レベルを備えています。ウェーハハンドラは、ウェーハをステージ間で自動的に移動するように設計された電動ウェーハトレーラーを含む、いくつかのコンポーネントで構成されています。トレーラーは、高分解能の精密位置決めシステムを使用して、ウェーハを14分の1の精度に整列させます。このシャトルはまた、手動で設定変更やリセットすることなく、複数のテストセットアップ間でウェーハを移動させることができるデュアル軸ハイスピードローテーションモジュールを使用しています。フィードシステムは、非接触シリンダを使用して、ウェーハを損傷なくスムーズかつ正確に駆動します。VersaPort 2200シャトルは、ウェーハの損傷を防ぐために強化された安全機能を備えています。アライメントウエハを自動的に検出し、必要に応じてウェーハの動きを停止してダメージを発生させる安全機構を内蔵しています。また、デュアルアームの真空ツールを備えており、ウェーハの位置を確実に保持することができます。すべての可動部品にはショックアブソーバーが装備されており、ジャーキー動作によるウェーハの損傷を軽減します。このウエハハンドラには、組み込みロガー、スタンバイエアチャンバー、ステージ、プログラマブルツールホルダーなど、多方向にテストするためのさまざまなオプションを装備することもできます。これらのオプションは、さまざまなテストアプリケーションに対応するために必要な汎用性を作成します。要約すると、ASYST VersaPort 2200 Shuttleは、テスト中に最適なアライメントを確保することにより、処理時間を最小限に抑え、ウェーハの損傷を軽減するように設計された自動ウェーハハンドラです。そのいくつかの安全機能とカスタマイズ可能なオプションにより、ウェーハの効率的で正確なテストに最適です。