中古 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #9043874 を販売中

ASYST VersaPort 2200 Shuttleは、2〜8インチウェーハ基板をプロセスまたは保管位置に転送するために設計されたウェーハ処理装置です。革新的な設計により、移動中のウェーハの完全性を保護し、ウェーハストレージラックへの比類のないアクセスを提供します。このシステムのユーザーフレンドリーなインターフェースにより、プロセスウェーハプログラムやジョブのセットアップに簡単にアクセスできます。VersaPort 2200は、シーケンシングされたチルト技術とサーボモーションで設計されており、ウェーハ部品の正確な部品位置と保護を可能にします。VersaPortのシャトルアームはローチルトユニットを備えており、ウェーハエッジ位置に準拠し、部品の保護に優れています。また、シャトルアーム独自の設計により振動を低減し、搬送および積載工程においてアクティブおよび高感度ウェーハを保護します。VersaPort 2200はさらに、ユーザーに幅広い互換性を提供します。シャトルの設計により、ユーザーフレンドリーな操作とウェーハシャトルの蓋、SMIFポッドを受け入れることができます。ASYST SmartChip Ready Softwareは、機械の機能と構成のインテリジェントな通信と通信を提供し、プロセスプログラムの迅速なセットアップを可能にします。VersaPort 2200 Shuttleはまた、高度なアルゴリズムを使用して安全プロトコルが定期的に観察および観察されるようにするPro-Activityモジュールを備えたウェーハ部品の優れた安全性を提供します。プロアクティビティモジュールは、プロセスウェーハの高さやプログラム位置の不一致から保護するなど、複数のウェーハ保護機能も提供します。VersaPort 2200はまた、取り外し可能なロードポートとアキュムレータを備えた比類のない柔軟性を提供し、プロセスの柔軟性や移植性のニーズに合わせて他のマシンと接続および切断することができます。アキュムレータは、温度、傾き、湿度、振動など、ウェーハの移動のあらゆる側面を監視し、それに応じて調整することができます。ASYST VersaPort 2200 Shuttleは、優れた精度、柔軟性、およびウェーハの安全性を提供する革新的なウェーハハンドリングツールです。ローチルト技術とユーザーフレンドリーなインターフェースにより、ウェーハ基板を迅速かつ徹底的に転送できます。Pro-Activity ModuleとAccumulatorsは、ウェーハ環境と向きを安全かつ一貫した制御を提供します。このウェハハンドラは、ウェハインテグリティとハンドリングの優れた保護と信頼性を提供する理想的なソリューションです。