中古 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #293748971 を販売中

ASYST VersaPort 2200シャトルは、半導体業界で使用される完全自動ウェーハ処理装置です。これは、ウェーハを迅速に収集して処理する機能を備えた高スループットアプリケーション向けに設計されています。VersaPort 2200 Shuttleは、X、 Y、 Z軸に沿って正確に動き、3D運動機能を作り出すことができるスマートなメカニカルアームで構成されています。アームが必要なときにのみ動くように設計されており、ウェーハが清潔で損傷を受けないようにしています。このシステムには、ウェーハレシーバと交換ステーションも含まれており、異なるカセットとチャンバー間でウェーハを素早く移動できます。ASYST VersaPort 2200 Shuttleは、処理サイクル全体にわたって効率的なワークフローを確保するように設計された高度なソフトウェア機能を備えています。最大4個のウェーハを同時に処理し、複数のパートナーシステムと通信することができ、半導体プロセスにおける他の機器とのインタフェースと制御を可能にします。デジタルカメラと一体化したユニークなビジョンユニットは、ウエハーの種類や厚さを検知し、プロセッサの積み込みや動作を調整します。VersaPort 2200シャトルには、あらゆる環境で静かな動作を保証するノイズダンピングおよび防振部品が装備されています。このマシンは、アクセスが困難であるように設計されており、特別なPINコードによってのみ開くことができます。これにより、ツールへの不正な干渉を防ぎます。ASYST VersaPort 2200シャトルは非常に信頼性が高く、清潔さのための厳しい業界要件を満たしながら、一貫した高品質の結果をすべて保証します。このアセットは、非常に高速なスループット率、低粒子汚染レベル、優れた柔軟性と拡張性を備えているため、あらゆる半導体プロセスに最適です。