中古 ASYST VersaPort 2200 Shuttle #293642307 を販売中

ASYST VersaPort 2200シャトルは、半導体産業のために設計された先進的なウェーハ処理装置です。薄くて壊れやすいウェーハにもダメージを与えることなく、優れた性能を発揮するように設計されています。ウェーハの動きに最大限の安定性と精度を提供する広いフットプリントで構成されています。VersaPort 2200は、繊細な特性を維持しながら、高速かつ正確にウェーハを届けることができるシャトル設計を採用しています。ブラシレスサーボモータを駆動する6軸ロボットメカニズムを搭載し、ウェハの取り扱いに精密な動きを提供します。また、さまざまな角度や深さでウェーハを拾えるマルチゾーン真空グリップユニットを搭載しています。VersaPort 2200は、直感的で多言語のタッチスクリーンのユーザーインターフェイスを備えており、マシンとの相互作用を簡素化します。ポイントアンドクリックアクセスによる故障解析やメモリ設定などのツールが含まれています。また、内蔵のリチウムイオン電池バックアップツールも提供しています。アセットは柔軟に設計されており、可変的な高さと角度でウェーハを配置することができます。また、複数のウエハを1回の動作で正確に転送することができ、最大直径300mmのウエハサイズにも対応できます。積載量は最大8ポンドで、大量の材料を運ぶことができます。ユニットはメンテナンスが容易で、すべてのコンポーネントがフロントまたはサイドから簡単にアクセスできるように設計されています。露光センサ、酸化物ガラス、窒化ガラス検出器、圧力センサなど多種多様なセンサに対応しています。さらに、VersaPort 2200は、個々のユーザーのニーズに合わせてカスタマイズできます。VersaPort 2200シャトルは、汎用性と信頼性の高いウェハハンドリングモデルです。新しいウェハハンドリング用に設計された複数の機能を備えているため、堅牢な構造と直感的なユーザーインターフェースにより、生産指向のプロセスに信頼性が高く効率的なソリューションを必要とするメーカーに最適です。