中古 ASYST UTMF 5000 #9055564 を販売中

ASYST UTMF 5000ウエハハンドラは、さまざまな業界で使用されるために開発された汎用性の高いコンピューター制御ウェハハンドリング装置です。ウェーハのローディング、アンロード、ソートなどの自動ウェーハ処理作業に、信頼性の高い高性能ソリューションを提供するように設計されています。このシステムには、ウエハビン、調整可能な傾斜フレーム、シングルアームロボット、調整可能なリフト、および統合制御ユニットが装備されています。ウェーハビンは、最大5つの標準200mmウェーハを保持するように設計されており、大容量のスループットを実現します。調整可能なチルトフレームは、ローディングまたは加工中にウェーハを正確に配置および方向付けするように設計されています。一方、シングルアームロボットは、正確で反復可能なウェーハの動きを提供します。調節可能な上昇はローディング/荷を下す周期の間に最大ウェーハ接触を保障するために上昇の角度の範囲を提供します。統合された制御機械はユーザーフレンドリーで、リアルタイムのプロセス制御のために設計されています。最大4つのウェーハ処理システムを制御することができ、ユーザー設定可能なインターフェイス、自動故障補正、イーサネットインターフェイスなどの高度な機能を提供します。このツールには、ウェーハローディングプラットフォームの動きと位置、および環境の温度と湿度を監視するためのさまざまなセンサーもあります。UTMF 5000は完全な安全機能を提供し、ロボットアームが予期せずオブジェクトにぶつかったり損傷を与えたりするのを防ぐためにインターロックアセットを使用します。それは耐久材料から成り、連続的な使用の年の間持続するように設計されています。最後に、このモデルには、機器の最適化とトラブルシューティングを可能にするさまざまな動作診断とパフォーマンスレコーダーが含まれています。