中古 ASYST SPC 01CS #9301460 を販売中

ASYST SPC 01CS Wafer Handlerは、自動化および半自動化されたウェハハンドリングアプリケーションのスループットとパフォーマンスを最大化するように設計された、強力で信頼性の高いウェハハンドリング機器です。SPC 01CSは、最大300mmまでのさまざまなウェーハサイズに対応でき、低温および高温の動作環境でも同様に有効です。このユニットは、耐久性のある低メンテナンスのステンレス製シャーシで構成されており、最も過酷な生産環境でも最大の耐久性と耐食性を提供します。この機器は、プログラム可能な2軸コントローラと直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、システムの動きを簡単に制御および監視できます。ASYST SPC 01CSは、2つの独立したダイクラッシュ検出システムを備えています。最初のユニットは、ウェーハの動きを監視して、ウェーハの選別ツールとの衝突を検出します。2つ目のマシンは、ウェーハソーターのアライメントパッチを追跡して、ウェーハのアライメントとソーターのツーリング間の不一致を検出します。ウエハハンドラは、ウエハとテーブル表面の間の熱伝達を最小限に抑える押出アルミニウムテーブル設計を採用しています。テーブルはモーター駆動で、滑りなどの熱伝達を最小限に抑えながら、ウェーハの滑らかで安定した動きを保証します。さらに、このテーブルは熱制御機能を備えており、耐熱部品をSPC 01CSで安全に加工することができます。また、真空ノズル上のポリイミドフィルムを使用して真空シールの不規則性を検出する真空モニタリングツールも備えています。これにより、転送中のウェーハの最適なホールドが保証されます。最後に、ウェハハンドラには洗練された安全資産が装備されており、複数のレベルの冗長性を提供します。このモデルは、緊急停止回路と大容量の機器モニタを備えており、すべての安全機能が正しく動作していることを確認します。ASYST SPC 01CSは優れたウェハハンドラで、さまざまなウェハハンドリングアプリケーションで最大の稼働時間とパフォーマンスを実現するよう設計されています。それは耐久の構造であり、直観的な制御はそれを最も要求の厳しい環境の信頼性そして安全のための理想的な選択にします。