中古 ASYST SP1MG0100 #9278792 を販売中

ASYST SP1MG0100は、シリコンおよびその他のウェーハ材料の輸送、試験、切断のために設計された多機能オートメーションウェーハハンドラです。このハンドラーは、複数のステージで構成されるコンパクトでモジュラー設計を備えており、効率的な互換性と生産の柔軟性を可能にします。このハンドラーは、機器の入力と出力の間でウェーハを輸送するために使用されるすべてのメカニズムを含むメインキャリーステージを備えています。さらに、ハンドラーには、ウェーハ表面から異物を洗浄および除去するためのクランプと綿棒ステージがあります。SP1MG0100は、フォースセンシングプラットフォーム上に取り付けられた2つのブレードを備えたテスト/カットステージも備えています。この組み合わせにより、最大25 umの精度でウェーハから個々のサイコロを精密に切断することができます。ハンドルはまた個々のダイの部分の抵抗テストおよび走査電子顕微鏡を行うことができます。このハンドラーには、異なるウェーハ材料に対して独自に制御および校正が可能な真空システムも装備されています。この真空ユニットは、製造工程を通じてクランプ真空カップにウェーハがしっかりと取り付けられるように設計されています。また、ウェーハの位置決めが容易なウェーハリフティングマシンも付属しています。最後に、ASYST SP1MG0100は、高度なロボティクスとビジョントラッキング技術を使用して、ウェーハスループットを最大化します。このツールは、ウェーハの迅速な輸送と操作を可能にし、機械学習機能により、以前の生産サイクルから収集したデータに基づいて、生産をさらに最適化することができます。さらに、ハンドラーのモジュラー設計により、スペースとコスト効率が向上します。要約すると、SP1MG0100は、シリコンおよびその他のウェハ材料の試験および切断用に設計された、高度で多機能なウェハハンドラです。メインキャリーステージ、クランプ、綿棒ステージ、テストステージ/カットステージ、ウェーハリフティング資産、高度なロボティクスおよびビジョントラッキング技術など、さまざまな機能により、無駄を最小限に抑えながら最適な生産を実現します。これにより、ASYST SP1MG0100はウェーハ処理アプリケーションに最適なオプションとなります。