中古 ASYST SMIF-300FL #9255535 を販売中

ASYST SMIF-300FLは、半導体製造施設での高度な使用のために設計された最先端のウェハハンドラです。このデバイスは、さまざまな基板や材料を処理するように設計されたコンポーネントで精密動作のために構築されています。ウェーハを加工ステーションとの間で安全かつ正確に搬送する2段階装置です。300FLの主成分は垂直リフトであり、ウェーハを所望の高さと輸送レベルに正確に配置するようにプログラムすることができます。このリフトはサーボモーターによって運転され、滑らかな操作を保障するために独特な球ねじメカニズムによって支えられます。さらに、レールは、ウェハが輸送中の外部振動に影響されないように振動絶縁を提供するように設計されています。また、300FLは、ウェーハを通過中の偶発的な接触から保護するためのカスタムデザインのプラットフォーム安全ガードを備えています。このガードは、一連のセンサーと近接スイッチを使用して動作を検出し、ウェハハンドラを含む操作を自動的にシャットダウンして損傷を防ぎます。ASYST SMIF 300FLには、安全で効率的な操作を保証するためのいくつかの追加機能があります。例えば、ウェーハがモーターの動きやトルクの影響を受けないように、トラックアライメントをモータードライブシャフトから外すようにプログラムすることができます。また、真空とエアユニットを一体化しており、ポジティブな空気圧を利用して、異なるキャリア間や工具とウェーハハンドラ間のウェーハの効率的な取り扱いを実現しています。SMIF 300 FLはまた、処理時間中にウェーハの位置を簡単に監視することができます洗練されたデータ制御マシンを備えています。これにより、ウエハの軌道を連続的に制御するだけでなく、時間の経過とともに処理パラメータを変更および調整することができます。全体として、SMIF-300FLは半導体製造設備のために設計された高度で信頼性の高いウェハハンドラです。精密なモーター式リフト、カスタムメイドの安全ガード、強力なデータ制御ツールを備えています。これらの機能を組み合わせることで、処理ステーション間のウェーハの正確で安全で効率的な処理が可能になります。