中古 ASYST SMIF-300FL #9255419 を販売中

ASYST SMIF-300FLは、半導体製造工場での半導体ウェハハンドリングの自動化に使用される生産レベルのウェハハンドラです。薄型のリニアデザインで、真空粘着性を最小限に抑えながらウェーハ間の再現性に優れています。ASYST SMIF 300FLは、インフィード、ロードポート、およびロードロックアプリケーション、およびカセット間の転送に使用できます。ハンドラーには両面真空ピックアップヘッドと内蔵のプレアライナーが装備されています。プレアライナーは、+/-0。5um以上の再現性を備えた精密かつ再現性の高いローディングを可能にします。一方、両面真空ピックアップヘッドは、安全で信頼性の高いウェーハ処理を可能にします。フレキシブルカセットシステムは、さまざまなサイズのカセットに対応でき、25mmから300mmまでのさまざまなウエハサイズに設定でき、幅広い半導体生産ニーズに対応できます。SMIF 300 FLは強力なブラシレスDCモータによって駆動され、ウェーハ間とカセット間の高速転送時間を提供します。このユニットには、複数のウェーハロット番号とサイズを認識して処理するのに役立つ低温ウェーハIDリーダーも装備されています。このハンドラーには、信頼性を向上させ、人員や機器の保護を向上させるいくつかの安全関連機能も組み込まれています。恒久的な接地を維持し、感電のリスクを最小限に抑え、業界最高水準のESD保護機能を内蔵しています。さらに、SMIF-300FLはDCパワーモータ保護と停電復旧を備えており、コストのかかるダウンタイムを防ぎます。結論として、ASYST SMIF 300 FLは、大量の半導体生産における自動ウェハハンドリングに最適なウェハハンドラです。ウェーハからウェーハへの再現性に優れ、柔軟なカセットシステムと組み込みの安全機能により、信頼性と効率的な生産に最適です。