中古 ASYST SMIF-300FL #9178156 を販売中

ASYST SMIF-300FLウエハハンドラは、集積回路（IC）バックエンドプロセス用に設計された高精度ウエハハンドリング装置です。これは、統合スキャナとPOD （Portable Open Device）ストレージシステムを備えたガントリーベースのロボットで構成されています。ASYST SMIF 300FLは、2「から8-13/16」までのウェーハを正確に処理するように設計されており、迅速かつ正確に移動および交換することができます。その高度な設計には、ウェーハの位置精度を高めるための追加部品が含まれています。ロボットには真空リフティングユニットを搭載しており、ハンドリング性を向上させ、脆弱な繊細なウエハを処理しながら接触を排除します。SMIF 300 FLは柔軟な生産プロセス向けに設計されており、バックエンド、プローブ、バーンインプロセスに組み込むことができます。高度な機能の可能性を最大限に引き出すために、ASYST SMIF 300 FLには、最大108個のウエハを管理できる高度な制御ソフトウェアも搭載されています。このソフトウェアは、ウェーハの保管と輸送のためのプロファイル情報を管理するだけでなく、ロボットアームの操作のための指示を生成します。また、光学検査結果などのエンドユーザー会計データと、各ウェハの動作と同様に詳細なプロセス結果を包括的に統合します。ロボットSMIF-300FLウェーハホルダーとハンドリングツールをパーティクルのクリーンに保つ自動洗浄機も備えています。このアセットは、加圧濾過された水と窒素を内蔵したウォータージェットを使用して、ロボットの表面に集まる粒子を除去し、ロボットが高精度なウェーハ交換のために最高の状態にあることを保証します。SMIF 300FLは、オペレータの安全を確保するためのさまざまな安全機能を提供します。偶発的な衝突をなくすための二重インターロック、最大移動速度を制限できる機械構造、粒子の汚染から保護された二次安全領域などがあり、ロボットの安全かつ安全な動作を可能にします。ASYST SMIF-300FLウエハハンドラは、さまざまなICバックエンドプロセスに対応した高精度ウエハハンドリングソリューションを求めるお客様に最適です。これは、コストとパフォーマンスの最適な構成を提供するように設計されており、今日のウェーハ処理の増加する精度の要求に応えることが保証されています。