中古 ASYST SMIF-300FL #9023346 を販売中

ASYST SMIF-300FLウェーハハンドラは、半導体製造工程におけるウェーハの大量積み降ろしを管理するために設計された自動ウェーハハンドリングシステムです。ASYST SMIF 300FLは、迅速なウェーハ交換のためのクイックチェンジピックアップモジュール、統合されたウェーハスクラブ機能、およびウェーハの向き決定のための高度なin-situスキャンを備えています。SMIF 300 FLは、300mm、 200mm、または150mmの構成で構成されたウェーハの取り扱いとスラビングの両方が可能です。最大300mm/秒で厚さ1mm、直径40mmまで効率よくウェーハを移動するように設計されています。さらに、ASYST SMIF 300 FLは、損傷したウェーハの自動ウェーハ方向決定および検出機能を備えています。SMIF-300FLは、柔軟な構成を可能にする非常にモジュラー設計を備えています。炉、スキャナー、計測ツールなどの既存の機器と組み合わせることができます。さらに、システムのモジュール式アプローチにより、追加のウェハカセット、FOUP、ロボットの統合などの簡単なアップグレードが可能です。SMIF 300FLウェーハハンドラは、さまざまなウェーハ製造プロセスでの使用に適しています。例えば、加工されていないウェーハスクラブ、イメージング、クリーニング、並べ替え、エピエッチング、プレメタル蒸着プロセスに対応できます。ASYST SMIF-300FLは、安全性を考慮して設計されており、さまざまな組み込みの安全保護機能を備えています。ASYST SMIF 300FLは高度で信頼性の高いウェーハハンドリングシステムで、複雑なウェーハ構成の取り扱いや転送から難易度と安全性のリスクを取り除きます。ハイスループットの生産環境に最適で、これまでにないレベルの安全性と効率性を提供します。