中古 ASYST SMIF-300FL #293682366 を販売中

ASYST SMIF-300FLウェーハハンドラは、半導体リソグラフィ用途に特化した自動ハンドリング装置です。これは、一度に最大32個のウェーハを処理できる完全自動化されたウェーハハンドリングソリューションです。これは、高いスループット、精度、信頼性のための半導体メーカーのニーズを満たすように設計されています。このシステムは、真空ベースのピックアンドプレースモジュールを使用してウェーハを処理します。適切なエンドポイントに到達すると、ウェーハは停止してSMIFカセットに配置され、さらなる処理が行われます。また、カセットとウェーハレベルでウェーハをマッピングおよび追跡するための堅牢なユニットも内蔵しています。このマシンは、処理中に各ウェハの位置を効率的に追跡することができます。ASYST SMIF 300FLは、コントローラ、SMIFハンドラ、ロボット、手動ハンドラの4つの主要コンポーネントで構成されています。コントローラを使用すると、ユーザーはツールの操作を制御できます。SMIFハンドラーは、ソースカセットから内部SMIFカセットにウェーハを移動する責任があります。ロボットは、適切なエンドポイントにウェーハを移動し、手動でロードおよびアンロード操作を行うための手動ハンドラを操作する責任があります。マニュアルハンドラーは、転送、ロード、およびアンロード操作を手動で制御することをユーザーに提供する責任があります。このアセットは、シングルまたはダブルのウェーハ処理、カセットからカセットへの転送、ウェーハからウェーハへの転送などの柔軟なウェーハ処理オプションを統合しています。また、SECS/GEMやWATCなどの標準プロトコルもサポートしています。SMIF 300 FLは、一度に最大32個のウェーハを処理できるため、半導体リソグラフィ用途において高効率で生産性の高いツールとなります。また、内部の温度・湿度モニタリング装置や、環境汚染を防止する先進安全システムを搭載しています。また、自動ウェハ履歴ログやメンテナンスが容易な掃除機などの機能も備えています。ASYST SMIF 300 FLウェーハハンドラは、半導体リソグラフィ用途向けの強力で信頼性の高い機械です。効率的なウェーハハンドリング、正確なマッピングおよび追跡機能、および強化された安全機能を提供します。また、メンテナンスも容易で、高い生産性と信頼性のために設計されています。