中古 ASYST SMIF-300FL #293653969 を販売中

ASYST SMIF-300FLは、ASYST Technologies Inc。の完全自動化された高性能ウェーハハンドラです。それは非常にきれいな環境で壊れやすい半導体ウェーハのローディング、荷を下し、そして移動を容易にするように設計されています。この装置は、4つの水平ポケットを備えたSMIF（標準的なメカニカルインターフェイス）ドックと、さまざまなプロセスツール間でウェーハを移動するための独立したウェーハトランスファーステーションを使用しています。ASYST SMIF 300FLはクリーンルーム環境で動作するように設計されており、ろ過レベルは100-1000です。つまり、1平方フィートあたり最大1000粒子のサイズ0.5µm以上が存在することができます。これにより、最高レベルの汚染防止が保証され、ローディング、アンロード、および転送プロセス中にウェーハが相互汚染から保護されます。SMIF 300 FLは、転送操作中にウェーハを最大限に保護するための高度な分離技術も備えています。精密加工された部品で構成され、最適な精度を実現しています。さらに、このユニットは高度なウェーハトラッキングとリアルタイムエラー検出技術を備えており、最大のプロセス精度を保証します。このマシンはまた、さまざまな標準およびカスタムウェーハサイズをサポートしています。このツールは使いやすいWebベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを搭載しており、オペレータとプログラマの両方がロード、アンロード、およびウェーハ転送プロセスを管理できます。ASYST SMIF 300 FLにまた新しい装置およびプロセスが加えられると同時に速く、容易な拡張を可能にするモジュール設計があります。SMIF 300FLは、信頼性が高く柔軟で効率的なウェハハンドラであり、半導体ウェハーの保護と精度を最大限に高め、運用コストを削減します。このアセットは、ウェーハのロード、アンロード、転送にクリーンで効率的な環境を提供するように設計されており、あらゆる半導体製造および試験アプリケーションに最適です。